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  • 脈沖激光沉積系統(tǒng)  Pioneer 180 MAPLE PLD

脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 MAPLE PLD

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時(shí)間2022-08-03
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量230
  • 人氣值510
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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,已經(jīng)成長(zhǎng)為一家專注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營(yíng)業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等??萍紕?chuàng)新是科時(shí)達(dá)公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。我們擁有一支高度專業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì),建立了國(guó)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專院校開展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開發(fā)出一系列具有高科技含量的市場(chǎng)產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時(shí),公司擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國(guó)內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會(huì)民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時(shí)達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動(dòng)企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國(guó)家、國(guó)民經(jīng)濟(jì)命脈和國(guó)計(jì)民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號(hào)進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級(jí)裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高??蒲蓄I(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國(guó)家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動(dòng)以“科時(shí)達(dá)基因”為核心的銷售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)??茣r(shí)達(dá)公司是一家,多年來(lái)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時(shí)企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時(shí)達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的一致認(rèn)可;公司營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
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基質(zhì)輔助脈沖激光蒸發(fā)(MAPLE)是PLD的一種變體。這是由NRL集團(tuán)新引入的技術(shù),以促進(jìn)某些功能有機(jī)材料的薄膜沉積?;赨V (5-6 eV)的傳統(tǒng)PLD技術(shù)中,光化學(xué)反應(yīng)可能會(huì)惡化有機(jī)分子、聚合物等的功能。而在MAPLE中,通過(guò)將待沉積的有機(jī)物(或聚合物)與吸收激光波長(zhǎng)的溶劑(基質(zhì))混合來(lái)制備特殊的靶。除了光學(xué)吸收外,在沉積條件下的高蒸氣壓是基質(zhì)的先決條件。
脈沖激光沉積系統(tǒng) Pioneer 180 MAPLE PLD 產(chǎn)品詳情

基質(zhì)輔助脈沖激光蒸發(fā)(MAPLE)是PLD的一種變體。這是由NRL集團(tuán)新引入的技術(shù),以促進(jìn)某些功能有機(jī)材料的薄膜沉積。基于UV (5-6 eV)的傳統(tǒng)PLD技術(shù)中,光化學(xué)反應(yīng)可能會(huì)惡化有機(jī)分子、聚合物等的功能。而在MAPLE中,通過(guò)將待沉積的有機(jī)物(或聚合物)與吸收激光波長(zhǎng)的溶劑(基質(zhì))混合來(lái)制備特殊的靶。除了光學(xué)吸收外,在沉積條件下的高蒸氣壓是基質(zhì)的先決條件。然后用液氮冷卻液體目標(biāo)物,使其凍結(jié)為固體。激光輻射主要被目標(biāo)的高揮發(fā)性、冷凍的溶劑(基質(zhì))分子吸收,這些分子隨后從固體目標(biāo)中脫離,捕獲和帶走感興趣的有機(jī)分子。在它們向基片傳輸?shù)倪^(guò)程中,高揮發(fā)性的基質(zhì)分子被抽走,將有機(jī)分子輸送到基片上沉積薄膜。它成功彌補(bǔ)了傳統(tǒng) PLD的缺陷。

特點(diǎn)

獨(dú)立的MAPLE PLD系統(tǒng)。

有機(jī)和聚合物薄膜的沉積。

在同一室的附加沉積源(可選):脈沖電子沉積(PED)、射頻/直流濺射和直流離子源。

負(fù)載鎖定基底階段。

與XPS分析系統(tǒng)集成,晶片就地從PLD系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到分析系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition)是一種用途廣泛的薄膜沉積技術(shù)。脈沖激光快速蒸發(fā)靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。PLD 的之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。這樣,在材料合成時(shí),工作壓力的動(dòng)態(tài)范圍很寬,達(dá)到10-10 Torr ~ 100 Torr。通過(guò)控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有功能的納米結(jié)構(gòu)和納米顆粒。另外,PLD 是一種“ 數(shù)字” 技術(shù),在納米尺度上進(jìn)行工藝控制(?/pulse)。
? Neocera 在PLD 設(shè)備與工藝開發(fā)方面具有不可超越的經(jīng)驗(yàn)
? Pioneer 系列PLD 系統(tǒng)是研發(fā)領(lǐng)域廣泛使用的商業(yè)化系統(tǒng)
? Neocera 不僅為客戶提供最基本的PLD 系統(tǒng),也提供完整的PLD 實(shí)驗(yàn)室交鑰匙方案

技術(shù)參數(shù)




1. PLD真空室尺寸:12 " / 18”直徑(Pioneer 120-Advanced/ Pioneer 180 Models).

2. 襯底尺寸:直徑2“和/或多種1厘米x1厘米的樣品。

3. 襯底加熱:500℃,擁有可編程的加熱器。

4. 基底旋轉(zhuǎn):20 RPM。軟件控制。

5. 目標(biāo)階段:液氮冷卻;單目標(biāo)階段為標(biāo)準(zhǔn);多個(gè)目標(biāo)(可選)

6. 真空裝夾:襯底負(fù)載制動(dòng)

7. 工業(yè)廢氣:按要求處理氣體。50 - 100 SCCM mfc電池

8. 軟件:Windows 7/Labview 2013。


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