IMM-200薄膜沉積監(jiān)測儀
IMM-200 是一款采用 ModeLock 技術(shù)構(gòu)建的沉積監(jiān)測儀,具有最高的厚度精度、的測量分辨率和zuidi的噪聲速率,可最大限度地提高再現(xiàn)性和均勻性。
內(nèi)置振蕩器時,IMM-200 可以輕松地集成到以太網(wǎng)系統(tǒng)中,只需極少的硬件和占用空間。這款功能強大且精確的測量監(jiān)視器肯定會為您的過程帶來新的性能水平。
功能
INFICON ModeLock 技術(shù)提供最長的晶體壽命,并確保zuiwending、最高分辨率和厚度測量,即使在非常低的速率下也是如此。
通過的 QCM 厚度測量實現(xiàn)產(chǎn)量zuidahua
單通道速率和厚度監(jiān)測儀,無需不必要的附加功能,以最大限度地降低成本
±0.0035 Hz 超過 100 ms 采樣
以太網(wǎng)通信實現(xiàn)無縫集成
緊湊的尺寸,通過節(jié)省工具空間來最大限度地降低集成成本
專家應用支持,能夠討論dute的應用需求,并提供比競爭對手更大的支持
符合 RoHS 標準
典型應用
半導體制造
發(fā)光二極管應用