Quantus LP100 氣體分析儀
實(shí)時(shí)終點(diǎn)檢測(cè)和檢漏
INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關(guān)鍵過程環(huán)境中進(jìn)行實(shí)時(shí)檢漏和終點(diǎn)檢測(cè)。許多過程對(duì)泄漏都很敏感,或要求進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。Quantus LP100 是一種氣體分析儀,專門用于實(shí)時(shí)應(yīng)對(duì)敏感過程環(huán)境中的細(xì)微變化,以*大限度地減少報(bào)廢,提高產(chǎn)出。
功能
- 方便的現(xiàn)場(chǎng)可更換等離子單元
- 使用標(biāo)準(zhǔn) KF25 連接方便地安裝
- 更低的維護(hù)成本
- 低至 ppm 級(jí)的出色檢測(cè)下限
- 工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr
- 長期可靠性:無需泵
- 低擁有成本
- 快速的 10 Hz 采樣頻率
- 精致小巧(高 x 寬 x 長)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
- 有經(jīng)驗(yàn)的現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn) INFICON 工程師提供支持