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  • 英?？礣ranspector XPR3 氣體分析系統(tǒng),高壓強型四極質(zhì)譜儀

Transpector XPR3 英?？礣ranspector XPR3 氣體分析系統(tǒng),高壓強型四極質(zhì)譜儀

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  • 型號TranspectorXPR3
  • 品牌
  • 所在地杭州市
  • 更新時間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限第7年
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量118
  • 人氣值1573
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一、代理品牌的產(chǎn)品銷售，及技術(shù)支持服務(wù)。

二、為客戶提供上等的真空解決方案，包括：真空非標系統(tǒng)設(shè)計、真空檢漏技術(shù)方案、真空設(shè)備維修服務(wù)；

三、流量控制解決方案：氣體、液體、特殊物質(zhì)流量控制方案；  

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Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實時數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護計劃，從而延長工具運行時間。
英?？礣ranspector XPR3 氣體分析系統(tǒng),高壓強型四極質(zhì)譜儀 產(chǎn)品詳情

Transpector XPR3 氣體分析系統(tǒng)

 

無需復(fù)雜壓力轉(zhuǎn)換的 PVD 過程監(jiān)控


Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實時數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護計劃，從而延長工具運行時間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統(tǒng)，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗，具有****的靈敏度、準確性和靈活性，可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破，無需大型、復(fù)雜的壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。



功能

  • 經(jīng)過重新設(shè)計的離子源*大限度減少污染積存，可延長使用壽命，提供更純凈的信號。
  • 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作，可實現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集，消除 FC 向 EM 過度的必要，更便于數(shù)據(jù)分析。
  • 更長的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能，增強了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測靈敏度。

典型應(yīng)用

  • PVD 過程模塊
  • 預(yù)清洗模塊
  • 非群集 PVD 工具
  • 夾鉗式除氣模塊


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