陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵UTM300B 日本 ULVAC
UTM300B是陶瓷球軸承的復(fù)合渦輪分子泵，具有優(yōu)良的壓縮比。采用集成控制器設(shè)計(jì)緊湊設(shè)計(jì)。優(yōu)良的高背壓性能允許使用較小的支持泵。
【特征】
安裝方向無(wú)限制
由于自由安裝方向的影響，系統(tǒng)設(shè)計(jì)的自由度較高。
車載控制器
泵體的集成控制器能夠減少電線工作和減少泵系統(tǒng)的體積。
高壓縮比高背壓
高壓縮比使泵能夠在高背壓下運(yùn)轉(zhuǎn)，并縮小其支持泵的尺寸。
三種法蘭
進(jìn)口端口法蘭可從ISO100-K、ICF 152和VG 100中選擇.
清潔真空環(huán)境
當(dāng)泵運(yùn)行和停止時(shí)，碳?xì)浠衔?object>氣體的回流減少。
低噪聲
空載時(shí)的噪音水平為50分貝或以下(帶有ISO-100 K法蘭)
適用標(biāo)準(zhǔn)
CE和NRTL
【應(yīng)用】
主要用于分析設(shè)備、研發(fā)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)裝置等的抽水系統(tǒng)。
用于蒸發(fā)器和濺射系統(tǒng)等的主泵系統(tǒng)。
主要抽吸系統(tǒng)，以疏散低分子氣體如H2，He。
【規(guī)格】
模型 | UTM300B | |||
冷卻法 | 自然空氣冷卻 | 強(qiáng)制空氣冷卻(風(fēng)扇) | ||
進(jìn)口法蘭*1 | VG 100，ICF 152，ISO 100-K | |||
出口法蘭 | KF 16 | |||
泵速(沒(méi)有保護(hù)屏) | N2 | 280升/秒 | ||
He | 270升/秒 | |||
H2 | 220升/秒 | |||
極限壓力(帶二級(jí)反泵) | 烘烤后 | N2 | *2 | 10-8 |
Ar | 10-10 | |||
Ar | 10-10 | |||
烘烤前 | N2 | 10-6 | ||
Ar | 10-8 | |||
Ar | 10-8 | |||
壓縮比 | N2 : >1×109，He：7×106，H2 : 1×105 | |||
N入口壓力2 *3, *4, *5 | N2 | Pa | 6×10-2 | 7×10-1 |
Torr | 5×10-4 | 5×10-3 | ||
mbar | 6×10-4 | 7×10-3 | ||
N出口壓力2 *3, *4, *6 | N2 | Pa | 100 | 1000 |
Torr | 0.75 | 7.5 | ||
mbar | 1 | 10 | ||
連續(xù)運(yùn)行流量*7 當(dāng)使用120 L/m反泵時(shí)。 | 無(wú)氣體凈化 | N2 | 10sccm /0.2mbarL/sec | 100sccm /1.7mbarL/sec |
無(wú)氣體凈化 | Ar | - | 30sccm /0.5mbarL/sec | |
氣體凈化 | - | 40sccm /0.7mbarL/sec | ||
推薦支持泵(無(wú)10 SCCM時(shí))*8 | >120升/分鐘 | |||
重量 | VG，ISO/ICF | 6kg/9kg | 6.3kg / 9.3kg | |
旋轉(zhuǎn)速度 | 600000 rpm | |||
啟動(dòng)時(shí)間(高達(dá)80)(DC24V)。背壓：5帕或更少)。 | 3.5分鐘 | |||
表面處理*9 | 無(wú) | |||
安裝方向 | ||||
噪音*10 | < 50dB (A) | |||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 每一個(gè)教學(xué)Manua(l英語(yǔ)和日語(yǔ))，保護(hù)屏幕(為VG和ICF。ISO法蘭蓋被安裝在墊片中)，墊片(用于進(jìn)口)，灰塵帽(或進(jìn)氣道，出口和連接器)。 | |||
*1 進(jìn)口法蘭在訂購(gòu)時(shí)來(lái)自VG 100，ICF 152和ISO100-K.
*2 烘焙只適用于帶有ICF法蘭的強(qiáng)制風(fēng)冷型。
*3 環(huán)境空氣溫度時(shí)的數(shù)值為25 ℃。如果環(huán)境空氣溫度發(fā)生變化，則可接受的數(shù)值將發(fā)生變化。
*4 出口壓力和入口壓力不能同時(shí)滿足。
*5 進(jìn)氣道壓力，可接受連續(xù)運(yùn)行。
*6 當(dāng)進(jìn)氣道氣體流量為0 mL/min時(shí)，排氣口的壓力可接受連續(xù)運(yùn)行。
*7 環(huán)境溫度為5~25 C時(shí)的數(shù)值。此外，N2應(yīng)用于氣體凈化，其流量應(yīng)為0.4mbarL/秒(25 Sccm)。
*8 當(dāng)氣體流量增加時(shí)，選擇適當(dāng)?shù)暮笏捅?，以保持排氣口壓力低于排氣口壓力?/span>
*9 不要使用流動(dòng)反應(yīng)氣體，腐蝕性氣體，和氣體包括鎵。使用其他氣體時(shí)請(qǐng)與我們聯(lián)系。
*10 這個(gè)數(shù)值是由ISO法蘭類型的ULVAC標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量的。
陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵UTM300B 日本 ULVAC
UTM300B是陶瓷球軸承的復(fù)合渦輪分子泵，具有優(yōu)良的壓縮比。采用集成控制器設(shè)計(jì)緊湊設(shè)計(jì)。優(yōu)良的高背壓性能允許使用較小的支持泵。
【特征】
安裝方向無(wú)限制
由于自由安裝方向的影響，系統(tǒng)設(shè)計(jì)的自由度較高。
車載控制器
泵體的集成控制器能夠減少電線工作和減少泵系統(tǒng)的體積。
高壓縮比高背壓
高壓縮比使泵能夠在高背壓下運(yùn)轉(zhuǎn)，并縮小其支持泵的尺寸。
三種法蘭
進(jìn)口端口法蘭可從ISO100-K、ICF 152和VG 100中選擇.
清潔真空環(huán)境
當(dāng)泵運(yùn)行和停止時(shí)，碳?xì)浠衔?object>氣體的回流減少。
低噪聲
空載時(shí)的噪音水平為50分貝或以下(帶有ISO-100 K法蘭)
適用標(biāo)準(zhǔn)
CE和NRTL
【應(yīng)用】
主要用于分析設(shè)備、研發(fā)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)裝置等的抽水系統(tǒng)。
用于蒸發(fā)器和濺射系統(tǒng)等的主泵系統(tǒng)。
主要抽吸系統(tǒng)，以疏散低分子氣體如H2，He。
【規(guī)格】
模型 | UTM300B | |||
冷卻法 | 自然空氣冷卻 | 強(qiáng)制空氣冷卻(風(fēng)扇) | ||
進(jìn)口法蘭*1 | VG 100，ICF 152，ISO 100-K | |||
出口法蘭 | KF 16 | |||
泵速(沒(méi)有保護(hù)屏) | N2 | 280升/秒 | ||
He | 270升/秒 | |||
H2 | 220升/秒 | |||
極限壓力(帶二級(jí)反泵) | 烘烤后 | N2 | *2 | 10-8 |
Ar | 10-10 | |||
Ar | 10-10 | |||
烘烤前 | N2 | 10-6 | ||
Ar | 10-8 | |||
Ar | 10-8 | |||
壓縮比 | N2 : >1×109，He：7×106，H2 : 1×105 | |||
N入口壓力2 *3, *4, *5 | N2 | Pa | 6×10-2 | 7×10-1 |
Torr | 5×10-4 | 5×10-3 | ||
mbar | 6×10-4 | 7×10-3 | ||
N出口壓力2 *3, *4, *6 | N2 | Pa | 100 | 1000 |
Torr | 0.75 | 7.5 | ||
mbar | 1 | 10 | ||
連續(xù)運(yùn)行流量*7 當(dāng)使用120 L/m反泵時(shí)。 | 無(wú)氣體凈化 | N2 | 10sccm /0.2mbarL/sec | 100sccm /1.7mbarL/sec |
無(wú)氣體凈化 | Ar | - | 30sccm /0.5mbarL/sec | |
氣體凈化 | - | 40sccm /0.7mbarL/sec | ||
推薦支持泵(無(wú)10 SCCM時(shí))*8 | >120升/分鐘 | |||
重量 | VG，ISO/ICF | 6kg/9kg | 6.3kg / 9.3kg | |
旋轉(zhuǎn)速度 | 600000 rpm | |||
啟動(dòng)時(shí)間(高達(dá)80)(DC24V)。背壓：5帕或更少)。 | 3.5分鐘 | |||
表面處理*9 | 無(wú) | |||
安裝方向 | ||||
噪音*10 | < 50dB (A) | |||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 每一個(gè)教學(xué)Manua(l英語(yǔ)和日語(yǔ))，保護(hù)屏幕(為VG和ICF。ISO法蘭蓋被安裝在墊片中)，墊片(用于進(jìn)口)，灰塵帽(或進(jìn)氣道，出口和連接器)。 | |||
*1 進(jìn)口法蘭在訂購(gòu)時(shí)來(lái)自VG 100，ICF 152和ISO100-K.
*2 烘焙只適用于帶有ICF法蘭的強(qiáng)制風(fēng)冷型。
*3 環(huán)境空氣溫度時(shí)的數(shù)值為25 ℃。如果環(huán)境空氣溫度發(fā)生變化，則可接受的數(shù)值將發(fā)生變化。
*4 出口壓力和入口壓力不能同時(shí)滿足。
*5 進(jìn)氣道壓力，可接受連續(xù)運(yùn)行。
*6 當(dāng)進(jìn)氣道氣體流量為0 mL/min時(shí)，排氣口的壓力可接受連續(xù)運(yùn)行。
*7 環(huán)境溫度為5~25 C時(shí)的數(shù)值。此外，N2應(yīng)用于氣體凈化，其流量應(yīng)為0.4mbarL/秒(25 Sccm)。
*8 當(dāng)氣體流量增加時(shí)，選擇適當(dāng)?shù)暮笏捅?，以保持排氣口壓力低于排氣口壓力?/span>
*9 不要使用流動(dòng)反應(yīng)氣體，腐蝕性氣體，和氣體包括鎵。使用其他氣體時(shí)請(qǐng)與我們聯(lián)系。
*10 這個(gè)數(shù)值是由ISO法蘭類型的ULVAC標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量的。
