樞軸軸承型渦輪分子泵UTM系列      日本 ULVAC

      UTM系列是一種全葉片式渦輪分子泵，帶有樞軸軸承(下部)和磁性軸承(上部)。

      采用樞軸軸承，減小了高速旋轉(zhuǎn)時的機械接觸。

      此外，還實現(xiàn)了低振動和高壓縮比。

      【特征】

      上部采用磁力軸承，下部采用樞軸軸承，消除了高速旋轉(zhuǎn)時的機械接觸。

      因此，軸承的更換和換油變得不必要，實現(xiàn)了軸承壽命的延長。

      通過對原葉片的設計，實現(xiàn)了精細的動平衡轉(zhuǎn)子和高效軸承，實現(xiàn)了H2、He等低分子量的高速旋轉(zhuǎn)和入口性能(高壓縮比)。

      采用軸心軸承油和氟化物油(飽和蒸氣壓穩(wěn)定、低的油)，實現(xiàn)了油無限接近零的環(huán)境。實現(xiàn)清潔、超高真空是可能的。

      采用精密動平衡轉(zhuǎn)子和高效軸承，實現(xiàn)低噪音、低振動。

      【應用】

      主要的真空系統(tǒng)，如分析設備、研發(fā)設備和實驗設備。作為加速器和光束線的粗糙真空泵

      主要的真空系統(tǒng)是低質(zhì)量的分子氣體，如H2和He。

      振動敏感的主要真空系統(tǒng)，如分析設備和評價設備。

      【規(guī)格】