針對(duì)日新月異的復(fù)雜*功能材料研究，從塑性到彈性材料、粘彈性到超硬材、或不同的測(cè)試環(huán)境，在微納米尺度下對(duì)材料進(jìn)行質(zhì)量微觀形貌結(jié)構(gòu)的觀察和力學(xué)性能的測(cè)試與研究，可以準(zhǔn)確評(píng)價(jià)材料或提供有效的信息改良材料的成長過程是的。納米力學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)必須是高精密的設(shè)計(jì)，載荷力分辨率小于nN；位移分辨率小于0.001nm。越低噪音的測(cè)試平臺(tái)能達(dá)nN以下，越精密的設(shè)計(jì)，越能準(zhǔn)確反應(yīng)材料的真實(shí)變化。通過靜電力驅(qū)動(dòng)的電容式傳感器，透過由靜電力驅(qū)動(dòng)的電容式傳感器，同步實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)和傳感，載荷力是由靜電力驅(qū)動(dòng)的，而同一時(shí)間的位移是通過電容的變化來測(cè)量。靜電驅(qū)動(dòng)只需要極小的電流，讓熱漂移和噪音減到，從而達(dá)到高精度高性能的力學(xué)測(cè)試。
納米力學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)透過提供不同的測(cè)試模式如壓痕、加載控制、位移控制、原位掃描成像等測(cè)試方法，無需拆何硬件可有效減低因拆卸而產(chǎn)生的誤差，并備有快速高級(jí)的數(shù)據(jù)采集器、達(dá)38,000Hz以上的反饋控制組件和和軟件自動(dòng)化設(shè)定功能，和寬闊的函數(shù)設(shè)置范圍，可精密檢測(cè)對(duì)于材料在力學(xué)壓力下產(chǎn)生的微觀變化，從而能對(duì)材料進(jìn)行質(zhì)量的深入研究，如材料的失效、變形、斷裂、疲勞、蠕變、剝離等力學(xué)行為的研究。
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| 詳細(xì)配置名稱 | 數(shù)量 | 單位 | 備注 |
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| 納米力學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng) | 1 | 套 | 包括以下部分 |
| 1 | 壓痕模塊 | 1 | 套 |
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| 2 | 劃痕模塊 | 1 | 套 |
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| 3 | 摩擦模塊 | 1 | 套 |
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| 4 | 原位掃描定位及成像模塊 | 1 | 套 | 納米原位成像模塊 |
| 5 | 高精密定位平臺(tái) | 1 | 套 |
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| 6 | 彩色光學(xué)顯微鏡系統(tǒng) | 1 | 套 |
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| 7 | 專用數(shù)據(jù)采集控制單元 | 1 | 套 |
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| 8 | 主動(dòng)電子防震臺(tái)和隔聲罩 | 1 | 套 | 防震隔音裝置 |
| 9 | 操作軟件 | 1 | 套 | 數(shù)據(jù)采集及處理軟件 |
| 10 | 其余配件 | 1 | 套 | 壓頭及標(biāo)樣 |
