MBE系統(tǒng)
帶快速進(jìn)樣室的獨(dú)立 MBE 系統(tǒng)
- 本底真空優(yōu)于2x10-10mbar
- 4 軸操縱器,可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和 液氮LN2冷卻
- Load-Lock進(jìn)樣室與線性傳輸桿,使樣品夾具傳輸方便。最多可存儲(chǔ)6個(gè)樣品夾具。
- 沉積室包含用于 RHEED 槍、離子槍、光束通量監(jiān)視器、石英晶體天平等的端口。
- 可更換底部法蘭,帶專用起重推車
- 沉積室中可防止交叉污染
樣品沉積室配備了用于分析儀器等的其他端口。
根據(jù)蒸發(fā)源的類型和數(shù)量以及基板大小,可提供不同的標(biāo)準(zhǔn)襯底尺寸:直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm(根據(jù)要求的其他尺寸)。