·100, 200或300原子量
·分辨率優(yōu)于1原子單位（amu）
·6個(gè)數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍
·5×10-14 Torr檢測(cè)限
·RGA Windows & LabVIEW軟件
·支持探頭操作
·現(xiàn)場(chǎng)可更換的燈絲和離化器
·RS-232 界面
RGA 系列
SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細(xì)氣體分析，價(jià)格僅為競(jìng)爭(zhēng)型號(hào)的一半。每個(gè) RGA 系統(tǒng)都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。
堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)
探頭由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測(cè)器組成。簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)具有少量零件，可限度地減少放氣并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機(jī)會(huì)。探頭組件堅(jiān)固耐用，可安裝在標(biāo)準(zhǔn)
緊湊型電子控制單元
密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設(shè)備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內(nèi)置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關(guān)電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時(shí)反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下，以進(jìn)行高溫烘烤。
的燈絲設(shè)計(jì)
長(zhǎng)壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。
電子倍增器
法拉第杯探測(cè)器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置，可以測(cè)量
加熱套
O100HJRW 加熱器護(hù)套配有 Watlow EHG SL10 過(guò)程控制器，可提供 210 °C (±3 °C) 的預(yù)編程溫度。加熱器護(hù)套采用 PTFE (Teflon) 結(jié)構(gòu)制成，由于其低釋氣和無(wú)顆粒操作，適用于潔凈室應(yīng)用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本，并隨附目的地國(guó)家/地區(qū)的電源線。
有用的功能
所有 RGA 都具有內(nèi)置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸，清潔離子源，大大降低了離子發(fā)生器對(duì)背景噪聲的影響。
固件驅(qū)動(dòng)的燈絲保護(hù)功能持續(xù)監(jiān)控（675 Hz）過(guò)壓。如果檢測(cè)到過(guò)壓，燈絲會(huì)立即關(guān)閉，以保持其使用壽命。
可編程性
通過(guò)
RGA 視窗軟件
RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。該程序是交互式的，使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進(jìn)行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計(jì)劃在給定的時(shí)間間隔內(nèi)采集數(shù)據(jù)，以進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視覺(jué)警報(bào)以及全面的在線幫助。
該軟件還允許通過(guò)簡(jiǎn)單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 RGA 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析，可以將數(shù)據(jù)文件保存為 ASCII 格式，以便輕松傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以直接導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù)，使臨時(shí)用戶無(wú)法更改重要設(shè)置。SRS 網(wǎng)站上還提供了 LabVIEW 驅(qū)動(dòng)程序。
可選的獨(dú)立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒(méi)有主機(jī)的情況下控制 RGA。
多頭操作
當(dāng)需要多個(gè) RGA 時(shí)，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。
性能和價(jià)值
SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測(cè)和真空處理的應(yīng)用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng)，支持 Windows 軟件和選項(xiàng)，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊。
RGA 系列規(guī)格
操作
質(zhì)量范圍
RGA1001 到 100 amu
RGA2001 到 200 amu
RGA3001 至 300 amu
質(zhì)量過(guò)濾器類型四極桿
探測(cè)器類型法拉第杯 - 標(biāo)準(zhǔn)。
電子倍增器 - 選擇。
解決優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據(jù) AVS 標(biāo)準(zhǔn) 2.3）。在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。
靈敏度 (A/Torr)2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用戶可在整個(gè)高壓范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。用 N 2 @ 28 amu 測(cè)量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
分鐘?？蓹z測(cè)分
壓5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2 @ 28 amu 測(cè)量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
運(yùn)營(yíng)壓力10 -4 Torr 到 UHV (FC)
10 -6 Torr 到 UHV (EM)
限度。工作溫度70℃
烘烤溫度300 °C（不帶 ECU）
離子發(fā)生器
設(shè)計(jì)開(kāi)放式離子源，圓柱對(duì)稱，電子碰撞電離。
材料SS304 結(jié)構(gòu)
燈絲具有固件保護(hù)的釷銥（雙）。內(nèi)置1 至 10 W脫氣加速。現(xiàn)場(chǎng)可更換。
電子能量25 至 105 V，可編程
離子能量8 或 12 V，可編程
聚焦電壓0 至 150 V，可編程
電子發(fā)射電流0 至 3.5 mA，可編程
一般的
探頭尺寸8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部
探頭插入2.0"
探頭安裝法蘭2.75" CF
最小管內(nèi)徑1.375"
ECU尺寸9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可輕松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。
LED指示燈電源開(kāi)/關(guān)、燈絲開(kāi)/關(guān)、脫氣開(kāi)/關(guān)、電子倍增器開(kāi)/關(guān)、RS-232 忙、錯(cuò)誤、過(guò)壓、燈絲燒毀。
熱身時(shí)間30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu
電腦接口RS-232C，28,800 波特，帶高級(jí)命令集
軟件基于 Windows 的應(yīng)用程序
電力需求24 VDC @ 2.5 安培。公 DB9 連接器。
可選的 110/120/220/240 VAC 適配器。
重量6 磅。
保修單一年零件和人工材料和工藝缺陷
