·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力
·3 × 10 -5 Torr-L/s 流量
·2 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)
·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)
·6個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
·RGA Windows 軟件
PPR 過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過(guò)程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑：用于監(jiān)測(cè)基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑和用于在工作壓力下監(jiān)測(cè)過(guò)程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微孔，設(shè)計(jì)用于在以下壓力之一下運(yùn)行：0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力（約
連接到您的工藝室的入口組件可以通過(guò)多種方式進(jìn)行配置（參見(jiàn)圖紙）。該系統(tǒng)包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的 Windows 軟件程序。
該軟件用于在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增器探測(cè)器都是 PPR 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統(tǒng)在出廠時(shí)已組裝和校準(zhǔn)，可以連接到您的真空處理室。
PPR 規(guī)格 | |
表現(xiàn) | |
| 氣體流量 | 3 × 10 -5 mbar-L/s，減壓入口處于活動(dòng)狀態(tài) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 0.1 mbar 入口壓力下 2 秒（隨壓力成線性比例） |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 標(biāo)稱 8 分鐘 |
連接 | |
| 進(jìn)口 | 2.75" CF法蘭，帶通孔可旋轉(zhuǎn) |
| 渦輪泵到控制器 | 6 英尺電纜（已提供） |
| 渦輪增壓到前級(jí)泵 | 6 英尺軟管（提供）， 1/4" ID × 7/16" OD |
| 電腦接口 | RS-232C（28,800 波特，9 針 D 連接器） |
| 軟件 | RGA Windows 應(yīng)用程序 |
泵 | |
| 高真空 | 混合渦輪分子/阻力泵，70 L/s， 極限壓力 |
| 后盾 | 極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護(hù)等級(jí) IP44 |
| 冷卻 | 需要強(qiáng)制風(fēng)冷 |
一般的 | |
| 電源要求 | 110 VAC @ 60 Hz， 220 VAC @ 50 Hz （不可現(xiàn)場(chǎng)選擇，300 W） |
| 方面 | 因配置而異 （請(qǐng)參閱示例配置） |
| 重量 | 16 磅。（渦輪泵、旁通閥和三通，RGA） 33 磅。（隔膜泵和控制器） |
| 保修單 | 一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。 |
