的質(zhì)譜分析儀，壓強(qiáng)測試范圍從大氣到超高真空壓強(qiáng)，是在線監(jiān)測和混合氣體分析的理想設(shè)備。無論檢測受限制的污染物，溶劑，氫化物，制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA都能勝任。UGA的應(yīng)用包括半導(dǎo)體尾氣檢測，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測，污染檢測，發(fā)酵研究和簡單真空分析。
UGA系統(tǒng)自帶windows軟件，實時采集數(shù)據(jù)和圖形化顯示，操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時間關(guān)系圖、檢漏測試、氣體分析和在線分析。標(biāo)準(zhǔn)的GPIB和RS232接口方便與計算機(jī)連接控制
UGAPM 系列過程監(jiān)測系統(tǒng)是為分析過程氣體而設(shè)計的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（約
UGAPM 應(yīng)用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析（0.1 mL范圍）等。
這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以從前面板或遠(yuǎn)程計算機(jī)進(jìn)行控制。在 UGAPM 系統(tǒng)中，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛細(xì)管來適應(yīng)
工作原理
UGAPM 系統(tǒng)使用單級毛細(xì)管減壓入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約
UGAPM Windows 軟件為復(fù)雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。
多毛細(xì)管入口
可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可適用于不同量程的樣品壓力。
使用您的 UGAPM
UGAPM 系統(tǒng)可以通過前面板或計算機(jī)進(jìn)行控制。提供所有系統(tǒng)組件的手動或自動控制選擇。
使用 UGAPM 軟件測量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測量。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計劃在時間采集數(shù)據(jù)。
功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和
RGA 參數(shù)也可以通過高級 ASCII 命令等進(jìn)行控制和監(jiān)視。標(biāo)準(zhǔn)
最
UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統(tǒng)的價值。它們提供更高的性能、更好的功能，并且價格遠(yuǎn)低于競爭對手。
UGAPM 規(guī)格 | |
進(jìn)口 | |
| 類型 | 不銹鋼毛細(xì)管，兩個額外的 |
| 流量 | 在應(yīng)用壓力下為10 -4至 |
| 壓力 | 可選擇 |
質(zhì)譜儀 | |
| 類型 | 四極桿 (RGA) |
| 探測器 | 法拉第杯和電子倍增器 |
| 范圍 | 100、200 或 300 原子質(zhì)量單位 (amu) |
| 解決 | 在 10 % 峰高處優(yōu)于 0.5 amu |
| 檢測限 | <10 ppm 使用法拉第杯檢測器，<1 ppm 使用電子倍增器 |
| 運(yùn)營壓力 | FC 為10 -4 mbar ，CDEM為 |
連接 | |
| 進(jìn)樣口 | 1/16" 或 1/8" 世偉洛克接頭 |
| 排氣 | 1/4" Tygon 管適配器 |
| 計算機(jī) | 以太網(wǎng)或 RS-232C，DB9 連接器 |
| 力量 | 3針接地線 |
UGA軟件 | |
| 軟件 | Windows 應(yīng)用程序。控制 UGAPM 系統(tǒng)，包括 RGA。 |
系統(tǒng) | |
| 泵 | 混合渦輪分子/阻力泵，81 升/秒。極限壓力 |
材料 | |
| 建造 | SS304 和 SS316 |
| 絕緣子 | 氧化鋁、陶瓷 |
| 密封件 | Viton ®、丁腈橡膠和丁腈橡膠、銅墊片 |
| 各種各樣的 | 鋁，Tygon ® |
一般的 | |
| 啟動時間 | 距句號 8 分鐘 |
| 限度。環(huán)境溫度。 | 35°C |
| 電力需求 | <600 W， |
| 方面 | 12" × 11" × 27" (WHL) |
| 重量 | 75 磅 |
| 保修單 | 一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。 |
