ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-基本型 10系列
美國(guó)ALICAT 10系列基本型質(zhì)量流量計(jì)，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量計(jì)均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的10系列質(zhì)量流量計(jì)用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量，響應(yīng)速度可達(dá)10ms。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體 ● 汽車制造
● 光伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量 ● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
● 低價(jià)位產(chǎn)品
● 標(biāo)配模擬輸出方式，數(shù)字可選
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需10ms
性能指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 單種氣體標(biāo)定，請(qǐng)參考背面氣體兼容表
量 程 從0-10SCCM 到 0-20SLPM（）
量程 比 200 : 1
可控流量 128%FS
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程
重復(fù) 性 ± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
預(yù)熱時(shí)間 <1s
響應(yīng)時(shí)間 10ms
標(biāo)定工況 25℃ & 100kPa 絕壓
工作溫度 -10 ～ +50℃
工作濕度 0-99%,無(wú)冷凝
標(biāo)準(zhǔn)工作壓力 1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng) 2MPa
輸出信號(hào) 標(biāo)準(zhǔn)為模擬信號(hào)：0-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選數(shù)字信號(hào) RS-232
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 40mA
電氣接口 DB15
材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
