ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列
美國ALICAT 01系列質量流量控制器，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對于預熱時間的要求，01系列的預熱時間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 99%，可以滿足更多的客戶流量控制應用場合。材質上，01系列采用了316不銹鋼主體，F(xiàn)KM密封，并具備較強的抗振動性能。使用上，配備了RS485及0-5VDC通過9針的工業(yè)插頭可輕松實現(xiàn)數(shù)字、模擬信號的測控。維護上影響設備壽命與精度的是被測氣體的品質，該系列設計用于測控潔凈、干燥、無腐蝕性的氣體。儀器無需定期清潔。如有必要，用柔軟的干抹布擦拭設備外部即可。
運用案例
● 醫(yī)療設備配套
● 環(huán)境分析儀器配套
● 光譜色譜分析儀器配套
● 其它氣體流量測控行業(yè)
產品特色
● 價格低廉，
● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成
● 快速響應，優(yōu)于70 ms 的預熱時間
● 壓損極低，滿量程僅為10mbar
● 內置精巧的PD閥，控制穩(wěn)定、精確
● 測量和控制范圍0.5~99%，一臺設備適用于多個應用
● 配備模擬控制和數(shù)字控制，贈送電腦操作軟件
● 的抗振性能，可適用于鐵路焊機等嚴格場合
性能指標
介質要求 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體
介質種類 每臺設備只能選ABC其中的一種：
A：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮，可通過RS485切換
B：僅支持氫氣
C：僅支持氦氣
量 程 0 - 100 SCCM ，0 - 1000 SCCM， 0 - 20 SLPM， 0 - 50 SLPM
（注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%。）
測量和控制范圍 1 ~ 99% （0-100 SCCM）
0.5 ~ 99% （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）
可控流量 102 % 滿量程
精 度 ±（1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程）
重 復 性 ± 0.5 % 讀數(shù)
質量流量溫度漂移 ± 0.2 % 滿量程 / ℃
零點漂移&滿量程漂移 0.05%滿量程/年
響應時間 優(yōu)于100 ms
預熱時間 70 ms
標定工況 25℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 0 ～ 50℃
工作濕度 < 90 %，無冷凝
工作壓力 0-100 SCCM、0-1000 SCCM為1MPa，
0-20 SLPM、0-50 SLPM為60 PSIG
滿量程壓損 1 KPa
數(shù)字輸入/輸出信號 RS485、RS232、Modbus
模擬輸入/輸出信號 0 - 5 VDC、4 - 20 mA
供電電壓 10-30 VDC
供電電流 200 mA
閥門泄漏率 內漏：10-5 Atm – cc/sec He
外漏：10-9 Atm – cc/sec He
材 質 主體材質：316不銹鋼
閥體材質：黃銅
密封材質：FKM （Viton）
傳 感 器：氮化硅
過程連接 NPT 內螺紋
振 動 20g；MIL-STD-883E, Method 2002.4
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 CE、RoHS、REACH
