ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L
量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100 ms 響應(yīng)時間
美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣， 1~99%
● 響應(yīng)時間快，優(yōu)于100 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
性能指標
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了130種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
測量和控制范圍 1～99%
顯示流量 128 %滿量程
可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）,僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
零點漂移 & 滿量程漂移 0.02% 滿量程 / ℃ / Atm
響應(yīng)時間 優(yōu)于100 ms
預(yù)熱時間 ＜ 1 s
標定工況 25 ℃ & 1 Atm（其它標況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 99%，無冷凝
工作壓力 1 MPa 表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4–20 mA ）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM（Kalrez），可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
