ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L
量程0.5 SCCM - 6000 SLPM,優(yōu)于1 %的精度,控制范圍廣,優(yōu)于100 ms 響應(yīng)時(shí)間
美國(guó)ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶(hù)標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。
可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體(如:NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
● 可測(cè)范圍廣, 1~99%
● 響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于100 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
性能指標(biāo)
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類(lèi) 內(nèi)置了130種氣體,請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM()
測(cè)量和控制范圍 1~99%
顯示流量 128 %滿(mǎn)量程
可控流量 102.4 %滿(mǎn)量程
顯 示 屏 帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿(mǎn)量程)
±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿(mǎn)量程)(可選),僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿(mǎn)量程
零點(diǎn)漂移 & 滿(mǎn)量程漂移 0.02% 滿(mǎn)量程 / ℃ / Atm
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于100 ms
預(yù)熱時(shí)間 < 1 s
標(biāo)定工況 25 ℃ & 1 Atm(其它標(biāo)況可調(diào))
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫至100℃)
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 99%,無(wú)冷凝
工作壓力 1 MPa 表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80KPaA以上使用;其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
滿(mǎn)量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率;
模擬信號(hào):1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-30 VDC )
供電電流 250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢(xún));額外加 40 mA( 4–20 mA )
電氣接口 DB9,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM(Kalrez),可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
過(guò)程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)
*如選Profibus,則無(wú)模擬信號(hào),無(wú)顯示,其供電電壓及供電電流需來(lái)電垂詢(xún)