擴(kuò)散爐加熱器
★半導(dǎo)體擴(kuò)散爐燒結(jié)爐等
★滿足3“-12“晶圓擴(kuò)散爐“
★完整的產(chǎn)品系列
★進(jìn)口替代
★*的材料及制造技術(shù)，指標(biāo)優(yōu)異
★使用溫度：1300℃±0.5℃
★高溫型、普通型、快速升降溫型
特點(diǎn)：
★半導(dǎo)體擴(kuò)散爐燒結(jié)爐等
★滿足3"-12"晶圓擴(kuò)散爐"
★完整的產(chǎn)品系列
★進(jìn)口替代
★*的材料及制造技術(shù)，指標(biāo)優(yōu)異
★使用溫度：1300℃±0.5℃
★高溫型、普通型、快速升降溫型
擴(kuò)散爐加熱器參數(shù)：
工作溫度：≤1300℃
恒溫區(qū)長度：500mm-1000mm
爐體內(nèi)徑：Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）
規(guī)范使用：壽命可達(dá)20個(gè)月以上（1200℃）
替代進(jìn)口：全配套
擴(kuò)散爐加熱器材料：
爐絲：Φ8～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。
絕緣子：采用99瓷制作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。
保溫棉：采用英國摩根公司生產(chǎn)的高溫保溫材料。
外殼：304不銹鋼板卷制而成，連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。
熱偶座：進(jìn)口彈簧卡狀固定座。
把口環(huán)：陶瓷纖維把口環(huán)，既保溫，又有一定機(jī)械強(qiáng)度。
擴(kuò)散加熱器應(yīng)用：
青島晨立電子有限公司生產(chǎn)的體主要用做半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置?？膳c美國TEMPRESS、THERMCO，荷蘭ASM，英國BTU等國外多種型號(hào)擴(kuò)散爐配套（替代進(jìn)口），采用國外的加工工藝，選用進(jìn)口材料，可應(yīng)用于處理3～12英寸硅片的擴(kuò)散爐、太陽能電池片擴(kuò)散爐
晨立公司擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)。自成立以來，堅(jiān)持產(chǎn)品設(shè)計(jì)和服務(wù)質(zhì)量共同發(fā)展，積極進(jìn)取，精益求精，不斷提高產(chǎn)品核心競爭力。公司產(chǎn)品擁有完整自主產(chǎn)權(quán)。已擁有2項(xiàng)實(shí)用新型專li，2項(xiàng)發(fā)明專li正在申請中。有5名中、高級(jí)職稱的工程師組成專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，從事熱工行業(yè)近20年之久，有豐富的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)。
