特點(diǎn)：
1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測(cè)試環(huán)境，**限度減小樣品表面吸附水對(duì)測(cè)試的影響，實(shí)現(xiàn)精確的物理特性測(cè)量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃) 高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
2. 簡(jiǎn)便操作（綜合型Holder Flange）
通過(guò)采用『綜合型Holder Flange開(kāi)合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測(cè)試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。
3.優(yōu)異的高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。
4. 通過(guò)減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測(cè)精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。
