產(chǎn)品介紹：
1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
（3857581號、3926638號）
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃) 高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）
通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。
3. 的高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。
4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。
產(chǎn)品規(guī)格：
| 分辨率 | 原子相 |
| 樣品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴(kuò)展至20 mm) |
| 樣品移動范圍 | X-Y stage 5 mm |
| 掃描范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)： 20 µm□/1.5 µmH |
| 150 µm□/5 µmH | |
| 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制）定位顯微鏡 | |
| 簡易顯微鏡（×200倍） | |
| 光學(xué)顯微鏡（×1000倍） | |
| 變焦顯微鏡（×700倍） | |
| 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍） | |
| 檢測功能 | AFM（接觸模式） |
| DFM（輕敲模式） | |
| PM（相位） | |
| FFM（摩擦） | |
| MFM（磁力） | |
| SIS模式 | |
| LM-FFM（橫向摩擦） | |
| VE-AFM/DFM（粘彈性） | |
| Adhesion（吸附力） | |
| CURRENT（電流） | |
| SSRM（擴(kuò)展抵抗） | |
| SNDM（非線性介電常數(shù)） | |
| PRM（壓電響應(yīng)）、KFM（表面電位） | |
| 液體中AFM/DFM | |
| EC-AFM/STM | |
| NanoIndentation（硬度） | |
| Nano-TA（微區(qū)加熱） | |
| 選配件 | 高溫加熱樣品臺 |
| 加熱冷卻兼用樣品臺 | |
| 冷卻真空 | |
| 溫度控制 |
