HAADF-STEM圖像0.136 nm,FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)
明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)
元素面分布更迅速及時
低濃度元素檢測
自動圖像對中功能
樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容
同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至)
高精度放大校準和測量*
實時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*,具有自動傾斜圖像獲取功能。
ELV-3000即時元素面分布系統*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)