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LUPHOS SL/260/420
LUPHOS SL/260/420系列儀器采用高速非接觸式3D非球面光學(xué)面形測(cè)量系統(tǒng) LuphoScan測(cè)量平臺(tái)平臺(tái)能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測(cè)量,是一款基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®)的干涉、掃描測(cè)量系統(tǒng),它專(zhuān)為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)表面的超精密非接觸式3D形狀測(cè)量而設(shè)計(jì)。該儀器的主要特性包括高速測(cè)量、特殊表面的高靈活度測(cè)量 (例如;拐點(diǎn)的輪廓或平坦的尖點(diǎn)), 物體直徑可達(dá)420 mm。因?yàn)椴捎枚嗖ㄩL(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®)傳感器技術(shù),因此能夠掃描各種表面類(lèi)型如透明材料、金屬部件和研磨表面。LuphoScan系統(tǒng)能夠?yàn)楦哔|(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測(cè)量提供效益。
功能及特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù):
(1) 儀器型號(hào):①LuphoScan 120、②LuphoScan 260 (A, B)、③LuphoScan 420 (A, B)
(2) 超高、可重復(fù)精度:≤ ± 50 nm
(3) 被測(cè)物直徑:①120mm、②260mm、③420mm
(4) SAG高度凸面:①20mm、②55mm,50mm、③80mm,75mm
(5) SAG高度凹面:①-15mm、②-20mm,-30mm、③-30mm,-50mm
(6) 90°斜坡直徑:①25mm、②75mm,55mm、③105mm,65mm
(7) 被測(cè)物重量: ①15kg、②25kg、③50kg
(8) 測(cè)量時(shí)間(3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu))平面, ∅ =25 mm : 2:00分鐘 (16 點(diǎn)/mm2),4:00分鐘(100 點(diǎn)/mm2)
(9) 測(cè)量時(shí)間(3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu))球面,Roc = 60mm,∅ = 40 mm :3:32分鐘 (16 點(diǎn)/mm2),7:38 分鐘(100 點(diǎn)/mm2)
測(cè)量時(shí)間(3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu))球面, 球面, Roc = (±) 80 mm,∅=80 mm :6:08 分鐘 (16 點(diǎn)/mm2),12:38 分鐘(100 點(diǎn)/mm2)