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三維形貌儀
Alicona是專業(yè)光學(基于變焦技術)三維形貌儀器制造商,該公司核心技術:Focus-Variation擁有每秒一百七十萬個點! 1nm(best)垂直分辨率,0.44um(best)水平分辨率。目前此類產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應用到各個領域,如刀具、微精密制造、醫(yī)療技術和制藥、注射模塑、汽車工業(yè)、航空和航天。ALICONA的全自動變焦測量技術已經(jīng)被ISO列入的表面三維形貌測量技術。
功能及特點
技術特點:
該設備的自動變焦技術能夠同時測量形貌和粗糙度,能夠測量小半徑和小角度,能夠測量超過80°的斜面。有著標準真實的顏色信息,可提供360°的形狀和粗糙度測量,即使檢測具有不同表面特征的表面,儀器的高分辨、高重復性和可溯源仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率高測量速度。測量簡單且自動化程度高還可自動更換物鏡等,在通用性和應用價值方面使其成為三維形貌儀的理想選擇。
技術參數(shù):
(1)粗糙或光滑的表面:Ra ≧ 30nm
(2)陡峭的表面 :可達87°
(3)材料表面特征 :Sa ≧ 15nm
(4)大區(qū)域掃描 :100mm × 100mm
(5)最小測量半徑 :1um
(6)長工作距離4.5mm—23.5mm