產(chǎn)品中心
ZYGO zegage/9000
ZYGO公司研發(fā)的3D 光學表面輪廓儀是基于干涉原理的測量系統(tǒng)用于位移、表面形態(tài)和光波的測量，產(chǎn)品廣泛應用于半導體、光學、通訊、航天、自動化及科研領(lǐng)域。可以提供強大的多功能的非接觸式光學表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以極其的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。對于各種表面結(jié)構(gòu)，放大倍率及零件高度，可以實現(xiàn)小于1 納米到20000 微米范圍的快速測量。使用ZYGO的相干掃描干涉技術(shù)的3D光學輪廓儀可以很容易的測量各種材質(zhì)表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。在通用性和應用價值方面使其成為3D光學輪廓儀的理想選擇。
功能及特點
技術(shù)特點：
高靈敏度傳感器、快速非接觸測量、的3D表面可視化、亞埃級精度、超精密計算能力、增強光學成像、自動零件定位。
技術(shù)參數(shù)：
(1) 縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)
(2) 表面形貌重復性：＜3.5nm（根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）
(3) 光學分辨率 ：0.52um ～9.50um，（與所選物鏡有關(guān)）
(4) 掃描速度：≤ 23 um/秒
(5) 數(shù)據(jù)點 ：1,048,576
(6) 臺階測量：準確度 ≤ 3% 重復性≤ 0.3% @ 1σ
(7) 各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射
(8) 反射率 ：1-99%
