材料科學(xué)的強(qiáng)勁解決方案
PantheraTEC系列是Panthera系列中拓展的功能強(qiáng)勁的用于材料科學(xué)分析的工業(yè)顯微鏡，可使用巧妙的明場(chǎng)、暗場(chǎng)照明概念來(lái)處理半導(dǎo)體、LCD面板和晶圓片樣品。為了擴(kuò)大復(fù)合材料的應(yīng)用領(lǐng)域，可以選擇Led透射光照明的顯微鏡機(jī)型。
☆智能暗場(chǎng)照明，5段分段照明模式
☆Plan Achromat BD長(zhǎng)距金相物鏡、新 FOV22mm
☆反射、透反機(jī)型可供選擇，上、下光源一鍵切換
☆LED聚光燈自動(dòng)識(shí)別N.A,無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)；聚光鏡與集光鏡合二為一，保證超長(zhǎng)Z軸行程
☆亮度追蹤、亮度顯示及亮度記憶功能，無(wú)需反復(fù)調(diào)節(jié)亮度
適用于工業(yè)應(yīng)用的強(qiáng)大功能
PantheraTEC型號(hào)為半導(dǎo)體和其他材料的檢測(cè)和分析提供了很高的價(jià)值，特別是在質(zhì)量控制和技術(shù)教育方面。明場(chǎng)、暗場(chǎng)和簡(jiǎn)易的偏光對(duì)比度與新的分 段照明相結(jié)合。這一概念允許傾斜入射照明, 非常適合檢測(cè)平面和反射表面上的劃痕或其他缺陷 , 而無(wú)需移動(dòng)樣品。
PantheraTEC-BD機(jī)型具有Plan AchromaticBD物鏡，具有出色的成像性能安裝在5孔編碼轉(zhuǎn)換器上。每個(gè)目標(biāo)位置的光強(qiáng)會(huì)自動(dòng)記住, 并在再次單擊目標(biāo)后自動(dòng)調(diào)整。
緊湊的落射照明器具有用于起偏器和檢偏器的插槽, 使其為簡(jiǎn)易的偏光設(shè)置做好準(zhǔn)備。照明器還可分別控制照明模式和照明角度。與基本的 20mmFOV系統(tǒng)相比，擴(kuò)展的22mm視野（FOV）提供了 21%更多的視覺(jué)區(qū)域。三目觀察筒（25°視角）分光比為 50/50 固定（目視/三筒）。
PantheraTEC顯然專注于材料科學(xué)。反射光照明由3W Led提供。對(duì)于復(fù)合材料 , 透反照明會(huì)更加適合。在這種情況下, 請(qǐng)使用玻璃臺(tái)板。
PantheraTEC-BD-TD 機(jī)型具有內(nèi)置的 SmartCam 和 imagingOn-Device 設(shè)備系統(tǒng)，這是一個(gè)獨(dú)立的顯微鏡，由于其嵌入式Panthera App或您的移動(dòng)設(shè)備, 可以使用全高清屏幕。
PantheraTEC機(jī)型Panthera家族的個(gè)空白?，F(xiàn)在， 可以對(duì)不透明的工業(yè)樣品進(jìn)行更廣泛的易用性檢查。PantheraTEC出色的光學(xué)元件提供了的成像效果，靈活的不同配置滿足各種應(yīng)用，智能控制讓顯微鏡更方便使用。
尺寸圖(mm)
PantheraTEC-BF 明場(chǎng)
機(jī)型 | PantheraTEC-BD | PantheraTEC-BD-T | PantheraTEC-BD-TD |
光學(xué)系統(tǒng) | 色差校正無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) |
觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | SmartCam內(nèi)置數(shù)碼觀察筒 |
瞳距(mm) | 48-75 | 48-75 | 48-75 |
三目分光比 | 50/50 | 50/50 | x |
觀察筒傾斜角 | 25°傾斜角，360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角，360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角，360°旋轉(zhuǎn) |
目鏡 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 |
目鏡屈光度調(diào)節(jié)范圍 | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場(chǎng)編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場(chǎng)編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場(chǎng)編碼轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | Plan Achromat BD長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 |
物鏡倍率 | Plan Achromat BD 5X/ 0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/ 0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/ 0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/ 0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) |
物鏡螺紋 | W 4/5”×1/36”（RMS標(biāo)準(zhǔn)） | W 4/5”×1/36”（RMS標(biāo)準(zhǔn)） | W 4/5”×1/36”（RMS標(biāo)準(zhǔn)） |
中間體 | 明場(chǎng)中間體 | 明場(chǎng)中間體 | 明場(chǎng)中間體 |
載物臺(tái)(標(biāo)配) | 3x2”機(jī)械載物臺(tái) | 6x4”機(jī)械載物臺(tái) | 6x4”機(jī)械載物臺(tái) |
載物臺(tái)尺寸(mm) | 180x140mm (3”x2”) | 300x180mm (6”x4”) | 300x180mm (6”x4”) |
載物臺(tái)行程X&Y (mm) | 75x50mm (3”x2”) | 150x100mm (6”x4”) | 150x100mm (6”x4”) |
聚光鏡 | x | LED聚光鏡 | LED聚光鏡 |
調(diào)焦裝置 | 粗微同軸調(diào)焦，松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦，松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦，松緊可調(diào) |
微調(diào)(μm) | 2 | 2 | 2 |
Z軸行程(mm) | 35 | 35 | 35 |
照明(落射照明發(fā)自中間體) | 3W LED | 3W LED | 3W LED |
照明(透射照明發(fā)自底座) | x | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) |
照明特性 | 照明亮度追蹤，亮度記憶，睡眠待機(jī)模式， LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤，亮度記憶，睡眠待機(jī)模式， LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤，亮度記憶，睡眠待機(jī)模式， LED亮度指示功能r |
數(shù)碼特性 | x | x | 內(nèi)置 Smart CAM & ImagingOnDevice 綜合成 像系統(tǒng)，5 GB內(nèi)存 |
連接性 | 外置攝像頭USB電源接口 | 外置攝像頭USB電源接口 | HDMI, USB 2.0 外置接口 (x2), Wi-Fi, RJ-45 |
電源 | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) |
包含附件 | 電源線，防塵罩，扳手，金屬支撐板螺釘， 說(shuō)明書(shū) | 電源線，防塵罩，扳手，金屬支撐板螺釘， 說(shuō)明書(shū) | 電源線，防塵罩，扳手，金屬支撐板螺釘， 說(shuō)明書(shū) |
尺寸 L x W x H (mm) | 282x210x450 | 282x210x450 | 282x210x450 |
重量(Kg) | 10 | 10 | 10 |
選配 | |||
選配物鏡 | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield |
選配載物臺(tái) | 6x4”機(jī)械載物臺(tái) | 3x2”機(jī)械載物臺(tái) | 3x2”機(jī)械載物臺(tái) |
選配偏光附件 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 |
對(duì)比技術(shù) | |||
明場(chǎng) | Yes | Yes | Yes |
暗場(chǎng) | x | x | x |
DIC | x | x | x |
簡(jiǎn)易偏光 | Yes | Yes | Yes |
PantheraTEC-BD 智能暗場(chǎng)
機(jī)型 | PantheraTEC-BD | PantheraTEC-BD-T | PantheraTEC-BD-TD |
光學(xué)系統(tǒng) | 色差校正無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) |
觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | SmartCam內(nèi)置數(shù)碼觀察筒 |
瞳距(mm) | 48-75 | 48-75 | 48-75 |
三目分光比 | 50/50 | 50/50 | x |
觀察筒傾斜角 | 25°傾斜角，360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) |
目鏡 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 |
目鏡屈光度調(diào)節(jié)范圍 | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔明暗場(chǎng)編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明暗場(chǎng)編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明暗場(chǎng)編碼轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | Plan Achromat BD長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)暗場(chǎng)金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)暗場(chǎng)金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)暗場(chǎng)金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 |
物鏡倍率 | Plan Achromat BD 5X/ 0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/ 0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/ 0.40 (WD 7.3mm),Plan S-APO BD 50X/ 0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) |
物鏡螺紋 | M32 | M32 | M32 |
中間體 | 暗場(chǎng)中間體，智能分段環(huán)形照明 | 暗場(chǎng)中間體，智能分段環(huán)形照明 | 暗場(chǎng)中間體，智能分段環(huán)形照明 |
載物臺(tái)(標(biāo)配) | 3x2”機(jī)械載物臺(tái) | 6x4”機(jī)械載物臺(tái) | 6x4”機(jī)械載物臺(tái) |
載物臺(tái)尺寸(mm) | 180x140mm (3”x2”) | 300x180mm (6”x4”) | 300x180mm (6”x4”) |
載物臺(tái)行程X&Y (mm) | 75x50mm (3”x2”) | 150x100mm (6”x4”) | 150x100mm (6”x4”) |
聚光鏡 | x | LED聚光鏡 | LED聚光鏡 |
調(diào)焦裝置 | 粗微同軸調(diào)焦，松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦，松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦，松緊可調(diào) |
微調(diào)(μm) | 2 | 2 | 2 |
Z軸行程(mm) | 35 | 35 | 35 |
照明(落射照明發(fā)自中間體) | 3W LED,智能分段環(huán)形照明 | 3W LED,智能分段環(huán)形照明 | 3W LED,智能分段環(huán)形照明 |
照明(透射照明發(fā)自底座) | x | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) |
照明特性 | 照明亮度追蹤，亮度記憶，睡眠待機(jī)模式， LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤，亮度記憶，睡眠待機(jī)模式， LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤，亮度記憶，睡眠待機(jī)模式， LED亮度指示功能r |
數(shù)碼特性 | x | x | 內(nèi)置 Smart CAM & ImagingOnDevice 綜合成 像系統(tǒng)，5 GB內(nèi)存 |
連接性 | 外置攝像頭USB電源接口 | 外置攝像頭USB電源接口 | HDMI, USB 2.0 外置接口 (x2), Wi-Fi, RJ-45 |
電源 | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) |
包含附件 | 電源線，防塵罩，扳手，金屬支撐板螺釘， 說(shuō)明書(shū) | 電源線，防塵罩，扳手，金屬支撐板螺釘， 說(shuō)明書(shū) | 電源線，防塵罩，扳手，金屬支撐板螺釘， 說(shuō)明書(shū) |
尺寸 L x W x H (mm) | 282x210x450 | 282x210x450 | 282x210x450 |
重量(Kg) | 10 | 10 | 10 |
選配 | |||
選配物鏡 | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield |
選配載物臺(tái) | 6x4”機(jī)械載物臺(tái) | 3x2”機(jī)械載物臺(tái) | 3x2”機(jī)械載物臺(tái) |
選配偏光附件 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 |
對(duì)比技術(shù) | |||
明場(chǎng) | Yes | Yes | Yes |
暗場(chǎng) | Yes | Yes | Yes |
DIC | x | x | x |
簡(jiǎn)易偏光 | Yes | Yes | Yes |
