表面粗糙度 | |
測定范圍/分解能 | Z:800μm/0.08nm |
測量速度 | 0.05~2mm/s |
測針 | R2μm 0.75mN以下 |
輪廓形狀 | |
測定精度 | Z:±(2.5+0.5×l H l)μm以下 H:変位(mm) |
測定范圍 | Z:30mm X:55mm |
測針 | R25μm 10~30mN |