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  • X-tool 自動(dòng)化X射線光電子微探針能譜儀

X-tool 自動(dòng)化X射線光電子微探針能譜儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-08-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值484
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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PHI X-tool 是 PHI XPS 系列產(chǎn)品中的新成員。(同時(shí)結(jié)合了PHI Quantera-II 和PHI VersaProbe-III的功能)PHI X-tool 設(shè)計(jì)的主要目的在于降低對(duì)操作人員個(gè)人經(jīng)驗(yàn)的要求,操作人員可觸屏操作,就可完成自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)檢測(cè)分析、自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告。PHI X-tool 消除了操作人員對(duì)表面分析經(jīng)驗(yàn)不足的問(wèn)題,使分析工作變得更簡(jiǎn)單,且更有效率。
X-tool 自動(dòng)化X射線光電子微探針能譜儀 產(chǎn)品詳情

特點(diǎn)

配有多種樣品觀察系統(tǒng)

X-tool 中包括了多種樣品觀察系統(tǒng),可方便地做出樣品定位。使用者在分析時(shí)可采用合適的方式去進(jìn)行定位并精準(zhǔn)地找到需要分析的位置。



a) 進(jìn)樣室照片 – 可瀏覽整個(gè) 75×75 mm的樣品托上的所有樣品,方便快速定位。
b) 樣品實(shí)時(shí)光學(xué)影像 – 可實(shí)時(shí)的知道目前樣品在儀器內(nèi)部所準(zhǔn)備分析的位置。
c) SXI 掃描X射線成像 – 直接由X射線產(chǎn)生的二次電子像,精準(zhǔn)的微區(qū)定位分析。


可以非常簡(jiǎn)易地進(jìn)行自動(dòng)分析操作

X-tool 在基于 PHI 公司的掃描聚焦型X射線的設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,再加上 X-tool 上新開發(fā)的非常簡(jiǎn)易的觸碰屏操作軟件,不管是大于 1.4 mm 的大面積分析,還是小于 50 um 的小區(qū)域分析,都可通過(guò) 3 個(gè)簡(jiǎn)單的程序在自動(dòng)的分析隊(duì)形中一次性完成設(shè)定,大大增加了儀器的效率和效益。




高速的化學(xué)態(tài)成像分析

掃描聚焦 X 射線系統(tǒng)配合高靈敏度的探測(cè)器,PHI X-tool 可以在 Unscan 模式的采譜方式下快速地完成 XPS 的成像分析,成像的過(guò)程永遠(yuǎn)是先譜后圖而非帶有高度不確定性的先圖后譜。所得的數(shù)據(jù)可使用 PHI MultiPak 分析數(shù)據(jù)軟件去進(jìn)行 Linear Least Square (LLS) 處理,得到化學(xué)態(tài)成像的精準(zhǔn)結(jié)果。



C 1s 有機(jī)碳污染分布 / C 1s有機(jī)碳中和氧有鍵結(jié)的結(jié)構(gòu)分布 / O 1s 的分布 / 2種不同的C 1s化學(xué)態(tài)的分布迭圖


的硬件設(shè)計(jì)

PHI X-tool 的微聚焦X射線可以把分析面積范圍設(shè)定在 20 um 到 1.4 mm 之間,而且系統(tǒng)配備了 PHI 的全自動(dòng)雙束中和系統(tǒng),可以一次性地對(duì)不管是大面積或微區(qū)樣品,導(dǎo)體或絕緣體,有機(jī)或無(wú)機(jī)材料進(jìn)行程序化自動(dòng)分析,也可對(duì)樣品材料表面進(jìn)行面掃成像。PHI X-tool 上更配有離子源,可對(duì)樣品刻蝕以進(jìn)行 XPS 的深度分析。





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Magnetic 磁性材料,硬盤,藍(lán)光光盤

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Graphene 石墨烯

Catalysis 催化劑

Energy-related 能源產(chǎn)業(yè)

Glass 玻璃

Metal 金屬

Ceramic 陶瓷

Semi-conductors 半導(dǎo)體

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