本套設(shè)備采用測量技術(shù)設(shè)計制造,能夠?qū)θ缣蓟?、單晶硅、鍺、石英玻璃等材料進行厚度研磨的過程進行實時控制;安裝簡單,使用方便,測量精度高至微米級。在計算機里輸入加工工件的起始厚度和目標厚度, 當工件被研磨達到目標厚度時,測厚儀即發(fā)出信號關(guān)閉主電機,從而使研磨 |
機停止轉(zhuǎn)動,結(jié)束研磨過程。
測量精度:工件厚度的 0.1%,即±2μm 以內(nèi)。
適用領(lǐng)域:適合測量碳化硅、硅、鍺、石英玻璃等硬度與石英 水晶接近的晶體材料。
本機可以在國產(chǎn)或進口的所有型號的研磨機上安裝使用。
設(shè)備硬件組成:
本測厚儀由硬件和軟件兩部分構(gòu)成,硬件組成:
序號Item | 品名及規(guī)格
Commodity & specification | 單位Unit | 每套配備Quantity |
1 | ALC-SI BODY
ALC 測頻儀本體 | SET
臺 | 1 |
2 | SLIP RING(SR-20)
水銀滑動環(huán) | PCS | 2 |
3 | PROBE(低頻)
探頭傳感器 | PCS | 2 |
4 | SIGNAL CABLE
高頻多層屏蔽信號線 | PCS | 2 |
5 | MOTOR-CONTROL WIRE
電機控制線 | PCS | 2 |
6 | SOLID RELAY
固態(tài)繼電器 | PCS | 2 |
7 | MOUNTING PLATE
電極支架 | PCS | 2 |
8 | ELECTRODE
電極 | PCS | 2 |
9 | POWER CABLE
電源線 | PCS | 1 |
11 | 工業(yè)控制計算機
COMPUTER | SET | 1 |
12 | 15”液晶顯示器 | SET | 1 |