James DeRose 1 Georg Schlaffer1博士
1徠卡顯微系統(tǒng)
在過去的幾年中，實(shí)踐證明，數(shù)碼顯微鏡在微電子行業(yè)，尤其對印刷電路板 (PCB) 的檢測、質(zhì)量控制和保證 (QC/QA) 以及失效分析 (FA) 等工作大有裨益。最近，隨著的發(fā)展，徠卡DVM6 三維數(shù)碼顯微鏡在檢測過程中，愈發(fā)顯現(xiàn)其強(qiáng)大功能和實(shí)用性，進(jìn)一步提高了工作效率。本文闡述了一些數(shù)碼顯微鏡功能的優(yōu)勢，例如，用于操作和分析的直觀軟件，快速、簡便的放大倍率切換方式，以及可靠調(diào)用參數(shù)的編碼功能。
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將印刷電路板 (PCB) 當(dāng)作樣品。
| Leica DVM6 記錄的局部 PCB 樣品低放大倍率圖像。 |
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| 顯示集成電路芯片和焊點(diǎn)的局部 PCB 三維圖像；利用 Leica DVM6 通過 LAS X EDOF（擴(kuò)展景深）功能捕捉。亦可參見右側(cè)帶彩色 Z 標(biāo)尺的相同圖像。 |
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與左側(cè)帶彩色 Z 標(biāo)尺相同的三維圖像。
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Leica DVM6 數(shù)碼顯微鏡令用戶能夠更簡單、更快速地記錄高品質(zhì)的可靠圖像數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)快速分析，提高了微電子部件檢測等方面工作的效率。本報告探討了 Leica DVM6 的下述功能是如何實(shí)現(xiàn)更快速、更可靠的工作流程的：
Ÿ 用于顯微鏡操作和數(shù)據(jù)分析的直觀軟件；
Ÿ 高效、快速實(shí)現(xiàn)整個范圍內(nèi)（12:1 至 2350:1）的放大倍率切換；
Ÿ 針對重要參數(shù)的編碼功能（自動追蹤和存儲），例如，載物臺、光學(xué)器件、照明、相機(jī)設(shè)置等，以便隨時快速調(diào)用；
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