●采用高脫鹽率反滲透膜，脫鹽率高，運(yùn)行壓力低，壽命可靠。
●采用全自動(dòng)控制，自動(dòng)制水、儲(chǔ)水、送水，不需專(zhuān)人守護(hù)，隨用隨取。
●高脫鹽率、高回收率，節(jié)約用水成本。
●系統(tǒng)設(shè)有停水、停電、過(guò)載的自動(dòng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全。
●系統(tǒng)產(chǎn)水水質(zhì)在線檢測(cè)，數(shù)字化顯示準(zhǔn)確直觀。
●操作面板人性化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單、易懂。
系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)震動(dòng)小、噪聲小，對(duì)工作環(huán)境無(wú)影響。
超高純度：能生產(chǎn)出電阻率高達(dá) 18MΩ?cm 以上，總有機(jī)碳（TOC）含量極低，顆粒計(jì)數(shù)極少的超純水，滿(mǎn)足光刻工藝對(duì)水質(zhì)的**要求，確保光刻膠的分辨率和精度。
穩(wěn)定運(yùn)行：采用高品質(zhì)的膜組件、泵、閥門(mén)等關(guān)鍵部件，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和測(cè)試，可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)高質(zhì)量超純水，保證光刻工藝的連續(xù)性。
自動(dòng)化程度高：配備**的 PLC 控制系統(tǒng)、傳感器網(wǎng)絡(luò)和遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制水質(zhì)、壓力、流量、溫度等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)運(yùn)行、調(diào)節(jié)、保護(hù)和故障報(bào)警，減少人工操作和維護(hù)成本。
靈活定制：可根據(jù)不同的光刻工藝需求、生產(chǎn)規(guī)模和水質(zhì)要求，進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì)和定制化配置，方便設(shè)備的安裝、調(diào)試和擴(kuò)展。
節(jié)能環(huán)保：采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程，降低能耗；同時(shí)，一些設(shè)備采用的 EDI 技術(shù)減少了酸堿廢水的排放，符合環(huán)保要求。
