ALD P-200 Pro 原子層沉積系統(tǒng)-儀表網(wǎng)

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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司成立于2001年,是一家經(jīng)營歐美和日本等國*科學(xué)測(cè)試儀器和設(shè)備,并將*進(jìn)技術(shù)引入國內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè).經(jīng)過十年的發(fā)展，公司在北京、上海、廣州、武漢均設(shè)有辦事處。

公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經(jīng)營公司的業(yè)務(wù)（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。

公司的主營儀器包括：分子相互作用分析儀器、表/界面分析測(cè)試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。

公司愿景：
公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求，以應(yīng)用為基礎(chǔ)的專業(yè)儀器設(shè)備供應(yīng)商、專有技術(shù)提供商，實(shí)現(xiàn)公司在行業(yè)內(nèi)的超常規(guī)發(fā)展。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時(shí)代。我們?nèi)詣?dòng)化、真空集群與產(chǎn)線兼容的原子層沉積系統(tǒng)確保了zui大的產(chǎn)出效率，并且具有*的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能*具有zui嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。P系列ALD高效緊湊的設(shè)計(jì)節(jié)約了昂貴的場(chǎng)地成本，系統(tǒng)的易維護(hù)性減少了停工期。

原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
襯底尺寸和類型

zui大300mm晶圓/單片
200mm晶圓25片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
150mm晶圓50片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
100mm晶圓75片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
高深寬比（HAR）樣品
原子層沉積系統(tǒng)工藝溫度

50 –500 °C
基片傳送選件

預(yù)真空室安裝磁力操作機(jī)械手（Load lock ）
半自動(dòng)的機(jī)械裝載
集群系統(tǒng)的批量裝載（Cassette-to-cassette ）
批量裝載，帶翻轉(zhuǎn)傳送系統(tǒng)（flipping mechanism）
真空批量裝載
氮?dú)夤裱b載
前驅(qū)體

液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體
源瓶容量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
6根獨(dú)立源管線，zui多加載12個(gè)前驅(qū)體源
重量

820 kg
尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm
選件

集群工具，PICOFLOW? 擴(kuò)散增強(qiáng)器，集成橢偏儀，QCM，RGA，N2發(fā)生器，尾氣處理
器，定制設(shè)計(jì)，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載），與工廠軟件連接服務(wù)。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝，
其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用特別驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如：
--不均勻性
--顆粒物含量
--重金屬污染
--電學(xué)性能

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 標(biāo)準(zhǔn) 機(jī)械手傳感器橢偏儀

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
宜賓環(huán)保門禁車輛出入監(jiān)控系統(tǒng)	￥5000	成都市	成都華信萬通科技有限公司	2024-11-28	在線詢價(jià)
個(gè)體聲暴露計(jì)（英國CASELLA）	面議	北京市	北京菁美瑞科技有限公司	2024-11-23	在線詢價(jià)
9.自動(dòng)煎藥器	￥4200	湘西土家族苗族自治州	吉首市中誠制藥機(jī)械廠	2024-08-21	在線詢價(jià)
配電柜設(shè)備	面議	滁州市	安徽天康(集團(tuán))股份有限公司	2024-08-06	在線詢價(jià)
環(huán)保門禁電子臺(tái)賬系統(tǒng)，門禁監(jiān)測(cè)，節(jié)能環(huán)保	￥4500	成都市	成都華信萬通科技有限公司	2024-06-27	在線詢價(jià)
粉塵防爆打磨拋光吸塵工作臺(tái)	￥5099	無錫市	江蘇杰碩環(huán)?？萍加邢薰?/span>	2024-03-06	在線詢價(jià)

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