《真空技術(shù) 真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法 第3部分：機械增壓泵的特定參數(shù)》
 

　　機械增壓真空泵在國內(nèi)外亦被稱作羅茨真空泵，是容積真空泵的重要分支。它可以在較寬的壓力區(qū)域內(nèi)實現(xiàn)較大的抽速,尤其是在10-1Pa - 102 Pa這個壓力范圍內(nèi),其他的高真空泵和低真空泵不能實現(xiàn)高抽速。因具有這種特性,至今在機械通用行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、航空航天工業(yè)、制藥工業(yè)、真空冶金行業(yè)等得到大量應(yīng)用。
 

　　GB/T 40344.1和 GB/T 40344.2中規(guī)定的測量方法和裝置可以用來測量機械增壓真空泵的體積流率。然而,由于機械增壓泵設(shè)有前級真空泵,測量方法不同于普通的高真空泵或低真空泵，特別是測量一些重要參數(shù)時，如最大容許壓差，零流量壓縮比和溢流閥壓差等，并未涵蓋在這兩項標(biāo)準(zhǔn)中。
 

　　實際應(yīng)用中急需對其測量方法標(biāo)準(zhǔn)化，以使生產(chǎn)者和最終用戶對不同機械增壓泵的性能進行比較。亦能對這兩項標(biāo)準(zhǔn)進行有效補充。本標(biāo)準(zhǔn)的制定可為羅茨真空泵的設(shè)計、制造、驗收、檢測和使用提供指導(dǎo)和規(guī)范，同時可為羅茨真空泵的推廣應(yīng)用提供有效的技術(shù)支撐和科學(xué)合理的測試比對方法。
 

　　本文件規(guī)定了機械增壓真空泵的最大容許壓差、有效壓縮比、零流量壓縮比和溢流閥壓差的測量方法和特殊的要求。文件中所涉及的機械增壓泵包括用于中真空或粗真空應(yīng)用的機械增壓泵、氣冷式機械增壓泵及多級機械增壓泵系統(tǒng)。
 

　　《真空技術(shù) 真空計 電容薄膜真空計的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度》
 

　　電容薄膜真空計最大的問題是供需關(guān)系倒置，購買方需要向供方提供書面申請，待供方批準(zhǔn)后才能獲得購買權(quán)限，這就造成了購買方在儀器的技術(shù)要求上沒有話語權(quán)。而部分供方在概念上混淆，例如用“測量誤差”代替“測量精密度”或“測量準(zhǔn)確度”。本標(biāo)準(zhǔn)對于有可能出現(xiàn)在產(chǎn)品說明書或技術(shù)要求文件上的名詞均給出了定義，關(guān)鍵名詞還給出了測量或評價方法，有助于生產(chǎn)廠家給出的技術(shù)要求具有可比性。
 

　　該標(biāo)準(zhǔn)給出了校準(zhǔn)電容薄膜真空計應(yīng)該注意的一些影響量，例如溫度效應(yīng)等，可以作為電容薄膜真空計校準(zhǔn)規(guī)范的補充說明。本標(biāo)準(zhǔn)給出了評估電容薄膜真空計不確定度需要考慮的不確定度分量，有助于檢測機構(gòu)能夠更為合理的評估其性能，不會因為由于丟項而評估的不確定度偏小。
 

　　該標(biāo)準(zhǔn)可用于規(guī)范電容薄膜真空計生產(chǎn)廠家給出的技術(shù)指標(biāo)，使其具有可比性，方便用戶選擇。明確測量誤差與測量精密度的區(qū)別，以免發(fā)生混淆，特別是對于可以調(diào)節(jié)顯示值的薄膜計，不能以調(diào)整后的測量誤差代替測量精密度寫入技術(shù)文件。該標(biāo)準(zhǔn)將會對電容薄膜真空計的生產(chǎn)廠家給予一定的制約，使其能夠更為合理的評價產(chǎn)品性能，為用戶購買選型提供技術(shù)上的保證。
 

　　該標(biāo)準(zhǔn)還對計量部門及校準(zhǔn)實驗室提供了詳細校準(zhǔn)過程，不確定度評定方法，對其校準(zhǔn)工作提供了技術(shù)指導(dǎo)。通過本標(biāo)準(zhǔn)的制定，可以推動我國電容薄膜真空計產(chǎn)品質(zhì)量的提高，同時可使我們電容薄膜真空計的產(chǎn)品性能、校準(zhǔn)方法與國際通行方法接軌，具有明顯的社會效益和經(jīng)濟效益。