【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)《地方標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》(國家市場監(jiān)管總局第26號令)《上海市地方標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》(上海市人民政府令第8號)規(guī)定，上海市地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)(征求意見稿)》，現(xiàn)面向社會廣泛征求意見，期限為2022年10月17日至11月16日。
 

　　為貫徹《中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法》《中華人民共和國大氣污染防治法》《中華人民共和國水污染防治法》《上海市環(huán)境保護(hù)條例》《上海市大氣污染防治條例》，引導(dǎo)半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)的進(jìn)步和可持續(xù)發(fā)展，結(jié)合上海市的實(shí)際情況，對DB31/374-2006《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》進(jìn)行修訂。
 

　　本文件于2006年11月1日首次發(fā)布，本次修訂為第一次修訂。本文件對DB31/374-2006的主要修訂之處如下：
 

　　——調(diào)整了水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)分級；將原第一類污染物兩個級別的排放標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為執(zhí)行同一級別的排放標(biāo)準(zhǔn)，將原第二類污染物三個級別的直接排放標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為同一個級別；調(diào)整了大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的排放速率控制方式，將原來按不同排氣筒高度制定標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為執(zhí)行同一標(biāo)準(zhǔn)；
 

　　——調(diào)整了污染物控制項(xiàng)目：增加了水污染物控制項(xiàng)目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑、總鋅、總硼、總鈷、總錫、總鉈、綜合毒性；增加了大氣污染物控制項(xiàng)目氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物、氮氧化物；
 

　　——調(diào)整了部分污染物項(xiàng)目的排放限值；收嚴(yán)了懸浮物、化學(xué)需氧量、五日生化需氧量、總有機(jī)碳等10項(xiàng)水污染物項(xiàng)目的排放限值；收嚴(yán)了硫酸霧、氯化氫、揮發(fā)性有機(jī)物等3項(xiàng)大氣污染物的排放限值；
 

　　——增加了廠界大氣污染物控制點(diǎn)濃度限值；
 

　　——更新了部分污染物項(xiàng)目的測定分析方法。
 

　　本文件參考GB/T 7466 水質(zhì) 總鉻的測定；GB/T 7467 水質(zhì) 六價鉻的測定 二苯碳酰二肼分光光度法；GB/T 7470 水質(zhì) 鉛的測定 雙硫腙分光光度法；GB/T 7471 水質(zhì) 鎘的測定 雙硫腙分光光度法；GB/T 7475 水質(zhì) 銅、鋅、鉛、鎘的測定 原子吸收分光光度法；GB/T 7484 水質(zhì) 氟化物的測定 離子選擇電極法；GB/T 7485 水質(zhì) 總砷的測定 二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法；GB/T 7494 水質(zhì) 陰離子表面活性劑的測定 亞甲藍(lán)分光光度法；GB/T 11893 水質(zhì) 總磷的測定 鉬酸銨分光光度法等規(guī)程編制。
 

　　本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)水和大氣污染物排放控制要求、監(jiān)測和監(jiān)督管理要求。本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施的水和大氣污染物排放管理，以及建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響評價、環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的水和大氣污染物排放管理。本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)的水和大氣污染物排放管理。
 

　　污染物監(jiān)測一般要求：
 

　　1.企業(yè)應(yīng)按照有關(guān)法律、《環(huán)境監(jiān)測管理辦法》和HJ 819等規(guī)定，建立企業(yè)監(jiān)測制度，制定監(jiān)測方案，對污染物排放狀況及其根據(jù)需要對周邊環(huán)境質(zhì)量的影響開展自行監(jiān)測，保存原始監(jiān)測記錄，并公布監(jiān)測結(jié)果。
 

　　2.新建企業(yè)和現(xiàn)有企業(yè)安裝污染物排放自動監(jiān)控設(shè)備的要求，按有關(guān)法律和《污染源自動監(jiān)控管理辦法》的規(guī)定執(zhí)行。
 

　　3.企業(yè)應(yīng)按照環(huán)境監(jiān)測管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設(shè)計(jì)、建設(shè)、維護(hù)永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標(biāo)志。
 

　　4.新建企業(yè)應(yīng)在污染物處理設(shè)施的進(jìn)、出口均設(shè)置采樣孔和采樣平臺；改(擴(kuò))建項(xiàng)目如污染物處理設(shè)施進(jìn)口能夠滿足相關(guān)工藝及生產(chǎn)安全要求，則應(yīng)在進(jìn)口處設(shè)置采樣孔。若排氣筒采用多筒集合式排放，應(yīng)在合并排氣筒前的各分管上設(shè)置采樣孔。
 

　　5.實(shí)施執(zhí)法監(jiān)測期間，企業(yè)應(yīng)該提供工況數(shù)據(jù)的證明材料。
 

　　6.對企業(yè)排放廢水和廢氣的采樣，應(yīng)根據(jù)監(jiān)測污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進(jìn)行，有廢水、廢氣處理設(shè)施的，應(yīng)在處理設(shè)施后監(jiān)控。根據(jù)企業(yè)使用的原料、生產(chǎn)工藝過程、生產(chǎn)的產(chǎn)品、副產(chǎn)品等，確定需要監(jiān)測的污染物項(xiàng)目。
 

　　達(dá)標(biāo)判定要求：
 

　　采用手工監(jiān)測時，按照監(jiān)測規(guī)范要求獲得的監(jiān)測數(shù)據(jù)等于或者小于排放濃度限值時為達(dá)標(biāo)排放。
 

　　采用自動監(jiān)測時，按照監(jiān)測規(guī)范要求獲得的有效小時均值等于或者小于排放濃度限值時為達(dá)標(biāo)排放。
 

　　若同一時段的手工監(jiān)測數(shù)據(jù)與自動監(jiān)測數(shù)據(jù)不一致，優(yōu)先采用手工監(jiān)測數(shù)據(jù)。
 

　　實(shí)施與監(jiān)督：
 

　　1.本文件由市和區(qū)生態(tài)環(huán)境主管部門負(fù)責(zé)監(jiān)督實(shí)施。
 

　　2.企業(yè)是實(shí)施排放標(biāo)準(zhǔn)的責(zé)任主體，應(yīng)采取必要措施，達(dá)到本文件規(guī)定的污染物排放控制要求。未遵守本文件規(guī)定的措施性控制要求，屬于違法行為的，依照法律法規(guī)等有關(guān)規(guī)定予以處理。
 

　　3.現(xiàn)有企業(yè)在本文件實(shí)施之日起180d內(nèi)完成達(dá)標(biāo)判定，制定達(dá)標(biāo)規(guī)劃，在過渡期內(nèi)完成達(dá)標(biāo)治理。VOCs治理設(shè)施應(yīng)符合國家和地方安全控制要求，在開停車等非正常排放、事故排放等工況下，確因安全控制短期需要難以滿足本文件要求，應(yīng)及時向所屬生態(tài)環(huán)境行政主管部門報(bào)告。