【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)總局下達(dá)的國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制修訂計(jì)劃，全國壓力計(jì)量技術(shù)委員會已完成《靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置檢定規(guī)程》的征求意見稿。為了使國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具操作性，特向全國有關(guān)單位征求意見和建議。
 

　　JJG728-1991一等標(biāo)準(zhǔn)膨脹法真空裝置檢定規(guī)程1991年制定的，量傳原則依據(jù)的是JJG2022-1989真空計(jì)量器具檢定系統(tǒng)表。在1989版系統(tǒng)表中，是允許范圍外擴(kuò)的，即標(biāo)準(zhǔn)裝置范圍比基準(zhǔn)寬，工作用器具范圍比標(biāo)準(zhǔn)寬。這種量傳方式不符合目前現(xiàn)行有效的相關(guān)文件。
 

　　JJF 1002-2010《國家計(jì)量檢定規(guī)程編寫規(guī)則》和JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》共同構(gòu)成本規(guī)程制訂的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)程的修訂主要參考了JJG728-1991《一等標(biāo)準(zhǔn)膨脹法真空裝置》國家檢定規(guī)程。
 

　　依據(jù)JJF 1002-2010《國家計(jì)量檢定規(guī)程編寫規(guī)則》，本規(guī)程在架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；術(shù)語和計(jì)量單位；概述；計(jì)量性能要求；通用技術(shù)要求；計(jì)量器具控制以及附錄等內(nèi)容。
 

　　檢定條件：
 

　　1.測量靜態(tài)本底壓力的規(guī)管應(yīng)提前安裝于裝置校準(zhǔn)室上，裝置需要至少提前4h開啟，必要時(shí)，可提前進(jìn)行烘烤。2.實(shí)驗(yàn)用儀表需提前預(yù)熱，電容薄膜真空計(jì)需預(yù)熱12h以上。
 

　　環(huán)境條件：
 

　　a)環(huán)境溫度：(23±5)℃。b)相對濕度：大不于80%。c)裝置應(yīng)放置于室內(nèi)溫度比較均為穩(wěn)定之處，應(yīng)避免日光直射，并遠(yuǎn)離熱源。d)應(yīng)滿足所使用的相關(guān)儀器對環(huán)境條件的要求。
 

　　靜態(tài)本底壓力：
 

　　開展電離真空計(jì)校準(zhǔn)的裝置，靜態(tài)本底壓力需要用電離真空計(jì)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)；開展磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)校準(zhǔn)的裝置，靜態(tài)本底壓力需要用磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)；二者均為裝置開展項(xiàng)目的，任選其一進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。
 

　　1.用電離真空計(jì)測量靜態(tài)本底壓力。a)按照裝置操作規(guī)范開啟真空系統(tǒng)，待真空系統(tǒng)運(yùn)行正常后，開啟電離真空計(jì)。必要時(shí)，可對裝置校準(zhǔn)室進(jìn)行烘烤去氣，可對電離規(guī)管進(jìn)行除氣。b)待裝置的殘余壓力達(dá)到預(yù)期值后，關(guān)閉校準(zhǔn)室與分子泵之間的閥門，并開始計(jì)時(shí)。1min后，讀取電離真空計(jì)的壓力值。
 

　　2.用磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)測量靜態(tài)本底壓力。a)按照裝置操作規(guī)范開啟真空系統(tǒng)，待真空系統(tǒng)運(yùn)行正常后，啟動磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。必要時(shí)，可對裝置校準(zhǔn)室進(jìn)行烘烤去氣，若烘烤造成轉(zhuǎn)子磁化強(qiáng)度過低，可對轉(zhuǎn)子進(jìn)行磁化處理。b)待裝置可進(jìn)行實(shí)驗(yàn)后，設(shè)置磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)采樣間隔為30s，offset參數(shù)設(shè)置為0，記錄5min，取平均值作為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的殘余阻尼。c)關(guān)閉校準(zhǔn)室與分子泵之間的閥門，并用計(jì)算機(jī)持續(xù)記錄磁懸浮真空計(jì)示值(1~4)h，按照其線性擬合結(jié)果計(jì)算得到裝置校準(zhǔn)室升壓率，并以150s的壓力升高值作為裝置靜態(tài)本底壓力。
 

　　檢定結(jié)果處理：
 

　　檢定合格的裝置，出具檢定證書；檢定不合格的裝置，出具檢定結(jié)果通知書，并注明不合格項(xiàng)目和內(nèi)容。
 

　　檢定周期：
 

　　裝置檢定周期為5年。
 

　　本規(guī)程適用于壓力范圍(1×10-4~1×102)Pa的靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置(的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。（更多詳情請見附件）