【儀表網(wǎng) 行業(yè)應用】納米科技發(fā)展中，納米材料是它的前導，因為納米材料集中體現(xiàn)了小尺寸、復雜結構、高集成度和強相互作用以及高比表面積等現(xiàn)代科學技術發(fā)展的特點，其中應該指出的是納米材料是將量子力學效應工程化或技術化的好場合之一，可能會產(chǎn)生全新的物理、化學現(xiàn)象。而納米結構較為復雜。
原子力顯微鏡是一種超高分辨率的掃描探針顯微鏡，能夠測定亞納米或微米級別的樣品表面特征。近日，歐洲計量創(chuàng)新與研究計劃(EMPIR)的項目“制造3D堆疊集成電路的計量”及其后續(xù)項目“可溯源的三維納米計量學”研發(fā)出了較快的計量原子力顯微鏡可用于復雜納米結構進行完整掃描。
這是與研發(fā)的德國聯(lián)邦物理研究院(PTB) 3D納米計量工作組負責人認為的，該原子力顯微鏡能夠對應用于半導體、納米光學、納米材料、生物科學等各個行業(yè)的復雜納米結構進行完整掃描。該項目成果極大地擴展了傳統(tǒng)原子力顯微鏡技術的性能，使其范圍更廣，準確性更高，速度更快，為應對工業(yè)挑戰(zhàn)提供了獨特的計量解決方案。
該項目研發(fā)的顯微鏡由一個末端有尖探針的懸臂組成，能夠“感覺到”或接觸到標本的表面結構，就像唱機上的唱針沿著膠片凹槽旋轉，并“播放”編碼在槽線中的音樂。此外，這種顯微鏡具有范圍廣、快速和準確的測量能力，可實現(xiàn)高達1 mm / s的掃描速度，可測量25 mm x 25 mm x 5 mm的體積，相當于其它原子力顯微鏡掃描速度的50倍，且測量不確定度低至亞納米級別。
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