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紫外臭氧清洗機(UVOZONECLEANER,UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速髙效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鐐,鋁,碑化...
紫外臭氧清洗機(UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物
紫外臭氧清洗機原理:通過紫外燈發(fā)出適當強度的185nm和254nm波長高能紫外線破壞有物分子(污染物)
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