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氣相沉積設(shè)備主要由反應(yīng)室、供氣系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)組成。反應(yīng)室是CVD中zui基本的部分，常采用石英管制成，其壁可分為熱態(tài)和冷態(tài)。
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