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湘潭華豐儀器制造有限公司
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氣相沉積設備

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地湘潭市

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更新時間：2016-08-18 17:24:50瀏覽次數(shù)：542次

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氣相沉積設備主要由反應室、供氣系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)組成。反應室是CVD中zui基本的部分，常采用石英管制成，其壁可分為熱態(tài)和冷態(tài)。

一、氣相沉積設備一般是通過一定的氣體與之發(fā)生氣—固或氣—液反應，形成適當?shù)臍鈶B(tài)組分，將產(chǎn)生的氣態(tài)組分輸送入反應室，在這些反應物載入沉積區(qū)之前，一般不希望它們之間相互反應，因此，在低溫下會相互反應的物質(zhì)在進入沉積區(qū)之前應隔開。

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