俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)?;诙硇娮幽茏VAES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統(tǒng),完成對薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。 非接觸式測量薄膜及合金元素組成。 帶樣品預(yù)抽真空室 (load-lock腔室)。 特性: -對原子結(jié)構(gòu),元素組成和厚度分析達(dá)到“亞納米級(jí)”精度 -大范圍樣品分析 -半自動(dòng)化操作
俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)系統(tǒng)特性 俄歇電子能譜AES分析器 分析器型號(hào)-延遲型區(qū)域分析器,自帶同軸電子槍 能量分辨率:<5% 工作距離 10mm 檢測器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道 安裝法蘭-4.5英寸O.D.標(biāo)準(zhǔn)CF法蘭(NW63CF) 電子槍: 型號(hào) :帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡 束流電壓:0-3KV 束流電流:大50uA 束流直徑:大800um 燈絲:鎢燈絲 磁罩:帶前置保護(hù)殼的Mu罩 深度離子濺射槍 離子源 在磁場內(nèi)電子沖擊形成離子 離子化陰極 鎢-錸燈絲 直接安裝于70mmO.D.CF法蘭 束流電流:大10 uA 束流能量:0-3keV 束流尺寸;直徑范圍5至25mm 束流均勻度:<5% 氣體輸入:經(jīng)過泄漏閥氣體直接輸入至離子源 安裝法蘭:23/4英寸(70mm)O.D.CF法蘭 樣品傳遞操作 樣品尺寸:尺寸從10mm-20mm 樣品置入:單個(gè)樣品置入 樣品傳輸:線型磁動(dòng)樣品傳輸臂 真空系統(tǒng) 腔體:100mm焊接超高真空腔體(304不銹鋼) 真空泵:60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵,配備匹配的前級(jí)泵 真空規(guī):寬量程真空規(guī) 真空兼容:超高真空材料 烘烤:真空下可烘烤至250度 -