深能級瞬態(tài)譜儀（DLTS)（Deep Level Transient Spectroscopy）是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段。根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié)、金－半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C～t）技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜，深能級瞬態(tài)譜儀 是一種具有*檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導(dǎo)體材料中摻雜濟(jì)濃度的萬分之一)的實(shí)驗(yàn)方法，能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描，可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜儀。集成多種全自動的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析，可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布。      Semetrol DLTS集成多種自動的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析，可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布，也可用于光伏太陽能電池領(lǐng)域中，分析少子壽命和轉(zhuǎn)化效率衰減的關(guān)鍵性雜質(zhì)元素和雜質(zhì)元素的晶格占位，確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命。該儀器測量界面態(tài)速度快，精度高，是生產(chǎn)和科研中可廣為應(yīng)用的測試技術(shù)．   主要特點(diǎn) : 自動連線檢測； 自動電容補(bǔ)償功能； 探測靈敏度高 瞬態(tài)電流測量； 傅里葉轉(zhuǎn)化功能； 深能級瞬態(tài)譜分析；      應(yīng)用領(lǐng)域 : ·檢測Si、ZnO、GaN等半導(dǎo)體材料中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。