儀器簡(jiǎn)介：日本精工膜厚儀SFT-110

日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司將在5月初推出配備自動(dòng)定位功能的［X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110］，使操作性進(jìn)一步提高。對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車(chē)部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理，可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì)，降低成本。精工從1971年推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x以來(lái)，已經(jīng)累計(jì)銷(xiāo)售6000多臺(tái)，得到了國(guó)內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求，精工開(kāi)發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110。通過(guò)自動(dòng)定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上，就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此，無(wú)需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大大提高了樣品測(cè)量的操作性。近年來(lái)，隨著檢測(cè)零件的微小化，對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且，配備有新開(kāi)發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量，可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。

技術(shù)參數(shù)：日本精工膜厚儀SFT-110

［主要產(chǎn)品規(guī)格］
檢測(cè)器： 比例計(jì)數(shù)管
X射線(xiàn)源： 空冷式小型X射線(xiàn)管
準(zhǔn)直器： 0.1、0.2mmφ2種
樣品觀(guān)察： CCD攝像頭
樣品臺(tái)：[固定] 535×530mm
[電動(dòng)] 260×210mm (移動(dòng)量 X:250mm, Y:200mm)
樣品大高度：150mm