儀器簡介：日本精工膜厚儀SFT-110

日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司將在5月初推出配備自動定位功能的［X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110］，使操作性進(jìn)一步提高。對半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測量管理，可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì)，降低成本。精工從1971年推出非接觸、短時間內(nèi)可進(jìn)行高精度測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來，已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺，得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測量需求，精工開發(fā)了配備有自動定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺上，就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進(jìn)行自動對焦。由此，無需進(jìn)行以往的手動逐次對焦的操作，大大提高了樣品測量的操作性。近年來，隨著檢測零件的微小化，對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且，配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測量，可對應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。

技術(shù)參數(shù)：日本精工膜厚儀SFT-110

［主要產(chǎn)品規(guī)格］
檢測器： 比例計(jì)數(shù)管
X射線源： 空冷式小型X射線管
準(zhǔn)直器： 0.1、0.2mmφ2種
樣品觀察： CCD攝像頭
樣品臺：[固定] 535×530mm
[電動] 260×210mm (移動量 X:250mm, Y:200mm)
樣品大高度：150mm