儀器簡(jiǎn)介:日本精工膜厚儀SFT-9500系列
SFT9500的X射線發(fā)生系統(tǒng)是X射線聚光系統(tǒng)(聚光導(dǎo)管)與X射線源相結(jié)合,產(chǎn)生束斑直徑為Φ0.1mm以下高強(qiáng)度的X射線束。 所以SFT9500可以對(duì)以往由于X射線照射強(qiáng)度不足而導(dǎo)致無(wú)法得到理想精度的導(dǎo)線架、接插頭、柔性線路板等微小零件及薄膜進(jìn)行測(cè)量。同時(shí),SFT9500采用了高計(jì)數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測(cè)器(無(wú)需液氮),在測(cè)量鍍膜厚度的同時(shí),對(duì)于歐盟的RoHS&ELV法規(guī)所限制的有害元素的分析測(cè)量也十分有效。
技術(shù)參數(shù)日本精工膜厚儀SFT-9500系列
序 號(hào) | 項(xiàng) 目 | 參 數(shù) |
1 | 可測(cè)量元素 | 原子序數(shù)13(Al)~83(Bi) |
2 | 聚光方式 | X射線聚光 |
3 | X射線源 | 管電壓:50kV |
4 | 檢測(cè)器 | Vortex®檢測(cè)器(無(wú)需液氮) |
5 | 分析范圍 | Φ0.1mm、Φ5mm |
6 | 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭(附變焦功能) |
7 | 濾波器 | 3種模式自動(dòng)切換 |
8 | 樣品室 | 樣品平臺(tái) 240(W)×330(D)mm |
9 | 重 量 | 123kg(不含電腦) |
10 | X-ray Station | 臺(tái)式電腦 19"LCD(OS; MS-Windows XP®) |
11 | 膜厚測(cè)量軟件 | 薄膜FP法(多五層,各層十種元素) |
12 | 定量分析功能 | 塊體FP法 |
13 | 統(tǒng)計(jì)處理功能 | MS-EXCEL®、 MS-WORD® |
14 | 安裝環(huán)境 | 溫度:10℃~35℃(±)5℃ |
15 | 電 源 | 接地三頭插座 AC100、15A |
主要特點(diǎn):
★ X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式,可得到以往十倍以上的X射線強(qiáng)度,從而可以提高微小樣品的膜厚測(cè)量及有害物質(zhì)測(cè)量的精度。
★ 無(wú)需液氮的半導(dǎo)體檢測(cè)器
在進(jìn)行薄膜測(cè)量與有害物質(zhì)的濃度測(cè)量時(shí),高分辨率的檢測(cè)器是*的。SFT9500的檢測(cè)器不但可以達(dá)到高分辨率,而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí),由于使用了電子冷卻方式,所以無(wú)需液氮。
★ 能譜匹配軟件(選配件)
可瞬間識(shí)別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫(kù)中哪一個(gè)樣品較為接近的軟件。對(duì)識(shí)別材料十分有效。
★ 塊體檢量線軟件(適用于電鍍液分析) (選配件)
可簡(jiǎn)單地測(cè)量出電鍍液中主要金屬的濃度。
★ 繪圖軟件(選配件)
將元素面分析的結(jié)果進(jìn)行等高線和色彩使用等視覺(jué)處理的軟件。
★ 電鍍液容器(選配件)
★ 各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)(選配件)