干真空泵GR系列 日本 ULVAC
基于LR/HR系列多年的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),ULVAC開發(fā)了GR系列干式真空泵,為一般工業(yè)應(yīng)用提供簡(jiǎn)單、清潔的設(shè)計(jì)。
【特征】
特別適用于高負(fù)荷應(yīng)用,如在常壓和真空之間的反復(fù)泵送和持續(xù)運(yùn)行在高壓范圍內(nèi)。
適用于需要高吞吐量的裝卸鎖室。
采用通用感應(yīng)電動(dòng)機(jī),防爆電動(dòng)機(jī)是一種可行的選擇。
電機(jī)功率:訂購時(shí)所需的電壓,可提供交流200 V級(jí)或多臺(tái)電壓電動(dòng)機(jī)。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
空氣、惰性
各種沉積設(shè)備的裝卸鎖室。
一般工業(yè)用途有真空干燥機(jī)、真空氣體交換、真空隔熱、充氣、真空除氣等。
【規(guī)格】
型號(hào) | GR60A | GR90A | GR180A | ||||
HZ | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |
抽運(yùn)速度 | m3/h | 62 | 80 | 112 | 126 | 183 | 237 |
L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 | 139.5 | |
極限壓力 | 5.0Pa*1 | ||||||
3.7 x 10-2Torr*1 | |||||||
5.0 x 10-2mbar*1 | |||||||
入口壓力 | 大氣壓力 | ||||||
排氣壓力 | 1.0Pa至大氣壓 | ||||||
7.5 x 10-3Pa到大氣壓 | |||||||
1.0 x 10-2毫巴到大氣壓 | |||||||
進(jìn)氣口 | VG 50或ISO63F | VG 80或ISO80F | |||||
排氣口 | NW 40 | ||||||
表面處理 | 標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng) | ||||||
重量 | 128kg | 188kg | 268kg | ||||
冷卻水 | 供應(yīng)壓力 | 0.1 to 0.3MPa | |||||
14.5 to 43.5psi | |||||||
進(jìn)/出差壓 | >0.1MPa | ||||||
>14.5psi | |||||||
溫度 | 10至30 ℃*2 | ||||||
50至86℃ | |||||||
流量 | >5.0L/m | ||||||
氮?dú)?/span> | 一次側(cè)供給壓力 | 0.1 to 0.5MPa | |||||
14.5 to 72.5psi | |||||||
二次側(cè)調(diào)節(jié)壓力*3 | 0.05至0.1(工作時(shí)) | ||||||
7.3 to 14.5psi | |||||||
軸 | 5SLM *4 |
*1 極限壓力是氮?dú)?/span>(軸封氣體)在5.0SLM時(shí)的值
*2非凝結(jié)。
*3壓力表上顯示的數(shù)值由氣體調(diào)節(jié)器調(diào)整。
*4氮?dú)饬髁?/span>(軸封氣體)固定在5.0SLM。
訂購時(shí),請(qǐng)從下表中電機(jī)電壓。200伏特級(jí)電動(dòng)機(jī)或多伏電動(dòng)機(jī)
干真空泵GR系列 日本 ULVAC
基于LR/HR系列多年的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),ULVAC開發(fā)了GR系列干式真空泵,為一般工業(yè)應(yīng)用提供簡(jiǎn)單、清潔的設(shè)計(jì)。
【特征】
特別適用于高負(fù)荷應(yīng)用,如在常壓和真空之間的反復(fù)泵送和持續(xù)運(yùn)行在高壓范圍內(nèi)。
適用于需要高吞吐量的裝卸鎖室。
采用通用感應(yīng)電動(dòng)機(jī),防爆電動(dòng)機(jī)是一種可行的選擇。
電機(jī)功率:訂購時(shí)所需的電壓,可提供交流200 V級(jí)或多臺(tái)電壓電動(dòng)機(jī)。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
空氣、惰性
各種沉積設(shè)備的裝卸鎖室。
一般工業(yè)用途有真空干燥機(jī)、真空氣體交換、真空隔熱、充氣、真空除氣等。
【規(guī)格】
型號(hào) | GR60A | GR90A | GR180A | ||||
HZ | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |
抽運(yùn)速度 | m3/h | 62 | 80 | 112 | 126 | 183 | 237 |
L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 | 139.5 | |
極限壓力 | 5.0Pa*1 | ||||||
3.7 x 10-2Torr*1 | |||||||
5.0 x 10-2mbar*1 | |||||||
入口壓力 | 大氣壓力 | ||||||
排氣壓力 | 1.0Pa至大氣壓 | ||||||
7.5 x 10-3Pa到大氣壓 | |||||||
1.0 x 10-2毫巴到大氣壓 | |||||||
進(jìn)氣口 | VG 50或ISO63F | VG 80或ISO80F | |||||
排氣口 | NW 40 | ||||||
表面處理 | 標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng) | ||||||
重量 | 128kg | 188kg | 268kg | ||||
冷卻水 | 供應(yīng)壓力 | 0.1 to 0.3MPa | |||||
14.5 to 43.5psi | |||||||
進(jìn)/出差壓 | >0.1MPa | ||||||
>14.5psi | |||||||
溫度 | 10至30 ℃*2 | ||||||
50至86℃ | |||||||
流量 | >5.0L/m | ||||||
氮?dú)?/span> | 一次側(cè)供給壓力 | 0.1 to 0.5MPa | |||||
14.5 to 72.5psi | |||||||
二次側(cè)調(diào)節(jié)壓力*3 | 0.05至0.1(工作時(shí)) | ||||||
7.3 to 14.5psi | |||||||
軸 | 5SLM *4 |
*1 極限壓力是氮?dú)?/span>(軸封氣體)在5.0SLM時(shí)的值
*2非凝結(jié)。
*3壓力表上顯示的數(shù)值由氣體調(diào)節(jié)器調(diào)整。
*4氮?dú)饬髁?/span>(軸封氣體)固定在5.0SLM。
訂購時(shí),請(qǐng)從下表中電機(jī)電壓。200伏特級(jí)電動(dòng)機(jī)或多伏電動(dòng)機(jī)