KLA無(wú)圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)Surfscan SP2-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

Surfscan®SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的SurfscanSP1平臺(tái)的第二代產(chǎn)品，用于無(wú)圖案晶圓檢測(cè)

KLA無(wú)圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)Surfscan SP2 產(chǎn)品詳情

Surfscan® SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的Surfscan SP1平臺(tái)的第二代產(chǎn)品，用于無(wú)圖案晶圓檢測(cè)。Surfscan SP2采用了開創(chuàng)性的紫外線（UV）激光技術(shù)、新的暗場(chǎng)光學(xué)技術(shù)和*的算法，能夠發(fā)現(xiàn)小至37nm的缺陷，在相同的靈敏度下，其產(chǎn)量比上一代系統(tǒng)快2倍。SP2專為射頻、汽車、SiC、GaN、LED等新興技術(shù)和高達(dá)≥4xnm設(shè)計(jì)規(guī)則的成熟工藝節(jié)點(diǎn)而設(shè)計(jì)，在整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)中，為襯底、IC、設(shè)備和材料制造商提供其所需的工藝和設(shè)備的認(rèn)證與監(jiān)測(cè)。

KLA無(wú)圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)Surfscan SP2

Surfscan系列無(wú)圖案檢測(cè)儀旨在實(shí)時(shí)捕獲裸晶圓、光滑和粗糙薄膜和堆疊、光阻和光刻堆疊上的關(guān)鍵缺陷，并對(duì)其進(jìn)行分類。通過(guò)及早發(fā)現(xiàn)和識(shí)別這些關(guān)鍵缺陷及表面質(zhì)量問(wèn)題，Surfscan系統(tǒng)能夠更快地識(shí)別工藝和設(shè)備問(wèn)題，從而加速量產(chǎn)投產(chǎn)、提高良率并增進(jìn)盈利。SP2 Pro系列設(shè)備既能滿足研發(fā)探索應(yīng)用，也同樣適用于在一個(gè)完整的制造環(huán)境中為關(guān)鍵設(shè)備監(jiān)測(cè)提供檢測(cè)點(diǎn)，所有這些都可以由這一個(gè)系統(tǒng)完成。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 直入射和斜入射光學(xué)照明模式為捕獲各種不同的缺陷和表征晶圓質(zhì)量提供了一系列不同的方法

? 多種光束尺寸/產(chǎn)量/靈敏度模式可針對(duì)每個(gè)應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化并提供其所需的性能

? 對(duì)硅襯底設(shè)備進(jìn)行認(rèn)證和工藝監(jiān)控，可為200mm/300mm晶圓格式提供>37nm的靈敏度

? 高靈敏度模式擴(kuò)展了研發(fā)應(yīng)用的能力

? SURFimage™數(shù)據(jù)通道能夠識(shí)別如完整晶圓圖像中的表面微粗糙度局部變化之類的空間擴(kuò)展的表面異常

? 重新啟動(dòng)產(chǎn)品制造以提高可維護(hù)性和供應(yīng)的可預(yù)測(cè)性

? 采用標(biāo)準(zhǔn)晶圓傳送系統(tǒng)并可實(shí)現(xiàn)靈活配置

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
艾德克斯ITECH 微功耗量測(cè)以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2024-12-26	在線詢價(jià)
自動(dòng)測(cè)量圖像尺寸設(shè)備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
羅卓尼克USB接口水活性快速測(cè)量探頭	面議	無(wú)錫市	無(wú)錫徽科特測(cè)控技術(shù)有限公司	2024-07-09	在線詢價(jià)
高通量實(shí)時(shí)熒光檢測(cè)分析系統(tǒng)	面議	上海市	美谷分子儀器（上海）有限公司	2024-02-28	在線詢價(jià)
激光功率測(cè)量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2024-04-23	在線詢價(jià)
水分活度測(cè)量?jī)x廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2024-08-29	在線詢價(jià)

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