產(chǎn)品介紹:
AFM5500M是操作性和測(cè)量精度大幅提高,配備4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對(duì)中,測(cè)試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動(dòng)操作平臺(tái)。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測(cè)量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺(tái)可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 自動(dòng)化功能
高度集成自動(dòng)化功能追求高效率檢測(cè)
降低檢測(cè)中的人為操作誤差
4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)
自動(dòng)更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機(jī)械原因造成的誤差
- 采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發(fā)的水平掃描器,可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測(cè)試。
大范圍水平掃描