美國MKS真空計 MKS 925系列皮拉尼真空計
HPS系列的925 micropirani™傳感器是一種基于MEMS. 925 *的，基于MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器。925是用于真空壓力測量并提供模擬電壓輸出，數(shù)字接口和設(shè)定點繼電器.用于過程控制。
美國MKS真空計 MKS 925系列皮拉尼真空計優(yōu)勢：
•增加壓力測量范圍從10-5乇大氣，在一個標(biāo)準(zhǔn)的皮拉尼
• Three set point relays for process control (option)
•三點繼電器用于過程控制（選項）
• Ultra compact design
•超緊湊的設(shè)計
• High accuracy for improved process control
•改進過程控制的高精度
• Ease of operation via analog output and digital communication (RS232 or RS485)
通過模擬輸出和數(shù)字通信（RS232或RS485易于操作•）
• MicroPiraniTM solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration
•micropiranitm固態(tài)傳感器是從耐空氣侵入或振動的損傷
• Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy
•安裝在任何方向，安裝方便；沒有損失的測量精度
• Optional display available for local pressure indication
•可選顯示可用的局部壓力指示
• Alternate analog output and electrical connectors available to match other vendors’
•交替的模擬輸出和電連接器可與其他廠商，方便容易升級
• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC
•CE標(biāo)志，符合EMC指令2004／108／EEC
美國MKS真空計 MKS 925系列皮拉尼真空計應(yīng)用：
925可以用在許多不同的真空應(yīng)用在半導(dǎo)體的分析，
and coating industries:
涂料行業(yè)：
• General vacuum pressure measurement
•一般真空壓力測量
• Foreline and roughing pressure measurement
•前級和粗壓力測量
• Gas backfilling measurement and control
•氣體充填的測量與控制
• Mass spectrometer control
•質(zhì)譜儀控制
• Activation of UHV gauges
•激活真空計
• System process control
•系統(tǒng)過程控制
• Control system pressure
•壓力控制系統(tǒng)
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