MKS GE250A質(zhì)量流量控制器
MKS GE250A是通用的彈性密封的MFC，非常適用于大流量質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器的各種各樣要求，流量范圍從100-250slm，GE250A MFC設(shè)計(jì)有獲得MKS的熱傳感器技術(shù)與機(jī)械設(shè)計(jì)，有模擬與數(shù)字I/O的常用性通訊模式，利用了MKS控制算法，提供設(shè)定點(diǎn)的快速和可重復(fù)性的響應(yīng)。GE250A精度為1%，精度控制為2%至滿量程，優(yōu)于很多典型質(zhì)量流量控制器。
MKS GE250A特點(diǎn)：
快速響應(yīng)的設(shè)定點(diǎn)保證流量的穩(wěn)定性
嚴(yán)格控制的工藝氣體流量精度可以改進(jìn)工藝的匹配
降低了進(jìn)氣壓力（壓差）的要求，簡(jiǎn)化了天然氣的供應(yīng)調(diào)控
新的設(shè)計(jì)降低了整體成本
在很寬的量程范圍有精確的流量控制，減少了一個(gè)額外的低范圍的MFC
設(shè)計(jì)上很易于集成與操作
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)接口的設(shè)備配置和診斷簡(jiǎn)單。
使用標(biāo)準(zhǔn)的Web瀏覽器不需要任何特殊的軟件
CE認(rèn)證與RoHS要求
MKS GE250A的技術(shù)參數(shù)
量程范圍：100-250slm
zui大進(jìn)氣口壓力：150pisa
正常工作壓差：30-55左右（大氣壓力在出口）
控制范圍：2%至
精度：讀數(shù)的20%到 ±1%
5%到20% ±0.25%
重復(fù)性：讀數(shù)0.5%
工作的環(huán)境溫度：10-50℃
MKS GE250A的訂購(gòu)資料：
例：型號(hào)GE250A013255TBV0010 | 采購(gòu)序列號(hào) |
大流量質(zhì)量流量控制器 | GE250A |
校準(zhǔn)氣體 |
|
氦氣He | 001 |
氬氣Ar | 004 |
氫氣H2 | 007 |
氮?dú)釴2 | 013 |
氧氣O2 | 015 |
其他氣體 | 可選 |
校準(zhǔn)流量SLM |
|
250slm | 255 |
裝配件 |
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8 VCR | T |
8 VCO | D |
1/2 tube管 | S |
1/2NPT | M |
電氣/通訊連接器 |
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模擬15針D型（I/O 0-5VDC） | B |
15針D型（4-20mA） | H |
密封 |
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Viton | V |
Neoprene | N |
Buna N | B |
EPDM | E |
MKS |
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標(biāo)準(zhǔn) | 00 |
軟件版本 |
|
MKS會(huì)安裝出廠日期版本 | 10 |
