MKS 246C單通道質(zhì)量流量控制器
MKS 247D四通道質(zhì)量流量控制器
MKS 647C八通道質(zhì)量流量控制器
MKS質(zhì)量流量控制器可以用幾種MKS電子.模塊。這些模塊提供電源和設(shè)定點(diǎn)信號的質(zhì)量流量控制器。此外,電子模塊提供一個(gè)讀出的氣體流量,氣體校正電位器,和遠(yuǎn)程指示,記錄外部輸入/輸出信號,和控制目的。
流量測量控制
246型單通道,247四通道
Power Supply/Readout
電源/讀出The MKS Type 246 and 247 MKS 246型和247個(gè)電源/讀數(shù)
設(shè)計(jì)的目的是控制和顯示任何流量傳感器。流量設(shè)定點(diǎn)可以調(diào)整,通過前面板控制或遠(yuǎn)程通過后面板246模擬接口。246是一個(gè)單聲道247 單元和247是一四通道/順序可選擇單讀出。
Type 647 Eight-Channel
647型八通道電源/讀出647型微機(jī)多通道流量/壓力控制器具有高達(dá)八的氣體流量通道和一個(gè)壓力通道,允許 647獨(dú)立的或基于比率的氣體流量控制。647是技術(shù)上的流編程可用,操作簡單。成熟的基于微處理器的電子允許幾個(gè),標(biāo)準(zhǔn)功能:菜單驅(qū)動(dòng)的數(shù)據(jù)輸入格式,五個(gè)可編程的氣體的食譜,氣體校正因素存儲在內(nèi)存中,所有遙控零能力RS-232 渠道,RS-232通信鏈路,兩個(gè)繼電器接觸每通道,三層的菜單,和optional digital PID.可選的數(shù)字PID。
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