美國(guó)MKS質(zhì)量流量控制器 MKS 1559A大流量質(zhì)量流量控制器
MKS 1559型質(zhì)量流量控制器是專(zhuān)為通用的質(zhì)量流量 from 20 slm (42.5 cfh) to 200 slm (425 cfh).1 The控制應(yīng)用的覆蓋范圍從20 SLM(42.5上下)200 SLM(425比1)。1559型的*的控制閥消除振蕩,并提供更好的響應(yīng)時(shí)間相比其他流量控制器。這是可能通過(guò)使用一個(gè)“平衡力閥門(mén)的設(shè)計(jì),自動(dòng)中和線(xiàn)壓力引起的內(nèi)部失衡.控制閥。 1% F.S.重要的操作因素包括快速熱身,快速響應(yīng)時(shí)間和1%的評(píng)論精度(氮)。這些功能鍵在zui大限度地減少停機(jī)時(shí)間和保證正確的氣體流被送到你的過(guò)程,在正確的時(shí)間。1559型具有優(yōu)良的RFI保護(hù),和有噪聲的安全保護(hù)功能在閥門(mén)關(guān)閉與小于0.2% F.S. MKS命令信號(hào),還提供了一個(gè)246,兼容的完整,獨(dú)立的電源/讀出單元,包括類(lèi)型246,247 and 647.247和647。
美國(guó)MKS質(zhì)量流量控制器 MKS 1559A大流量質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢(shì):
全尺寸范圍從20到200的SLM (氮當(dāng)量)為各種各樣的高流量的應(yīng)用
• “Balanced force” valve design to minimize
•平衡力閥設(shè)計(jì)zui小化
oscillation due to line pressure
由于線(xiàn)的壓力振蕩
fluctuations
波動(dòng)的
• Fast 30 minute warm-up time to minimize
•快30分鐘的熱身時(shí)間減少
expensive production downtime
昂貴的停機(jī)時(shí)間
• Fast 2 second settling time to achieve
•快2秒的時(shí)間來(lái)實(shí)現(xiàn)
desired flows quickly
所需的迅速流動(dòng)
• Accepts an external pressure input signal
•接受外部壓力輸入信號(hào)
(0 - 10 VDC) to allow pressure control
(0 -10VDC)
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