應(yīng)用領(lǐng)域：

等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。  

中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備。配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產(chǎn)場景清洗，活化、刻蝕等應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，樣品處理重復(fù)性、一致性好。

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個(gè)配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。

u PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

u 采用質(zhì)量流量計(jì)，氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

u 采用多孔道進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u 316不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

u 全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)。

u 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

u 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，設(shè)備占用空間小。

u 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

u 使用成本低、耗損小。

u 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)，簡單方便。

u 安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源。

u 機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

技術(shù)參數(shù)