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桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備，幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產。
產品特點：
u 可模擬生產條件，便于小批量中試生產。
u 桌面型，占用空間小。
u 性能穩(wěn)定，操作簡便，使用成本低，易于維護，性價比高。
u 有效處理面積大，可處理8寸硅片去膠等應用。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進行清洗和改性。
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