旋涂機（勻膠機）-山東普爾晟儀器有限公司

旋涂機原理：

旋涂機（spin coater）是一種薄膜制備設備。

在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，在離心力

作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均

勻的薄膜。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、

化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片，

基片，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

具體應用領域：

◆ 半導體器件制備：制備晶體管、太陽能電池、光伏器件等半導體器件的電極、介質(zhì)和敏感層材料。

◆ 光電子器件制造：制備液晶顯示器、OLED 顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。

◆ 生物醫(yī)學傳感器制造：生物醫(yī)學傳感器的敏感材料，如蛋白質(zhì)、DNA 和細胞等。

◆ 納米材料制備：制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料，其制備過程對材料結(jié)構(gòu)和形貌具有一定的控制作用。

產(chǎn)品特點

◆ 采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

◆ 7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配 10 個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設置），可

選配 20 個可編程程序，每個程序下可設置 10 個勻膠梯度階段，最多 100 個階段。

◆ 內(nèi)置水平校準裝置，限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

◆ 多重安全保護

電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋開傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實驗人員安全。

◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。

◆ 一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆ 符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品更方便。

◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器

在苛刻條件下仍能正常運行。

◆ 上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆ 可選氮氣吹掃、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

技術參數(shù)

技術參數(shù).png

型號

MSC

SC1

SC2

国产精品成人网站,亚洲欧美精品在线,色一情一乱一伦,又大又紧又粉嫩18P少妇

旋涂機（勻膠機）返回列表頁

儀表網(wǎng)

會員登錄

收藏該商鋪

提示