一、硬件配置及說(shuō)明

1)     方阻探頭：

由于電阻率范圍較大，需要采用兩中規(guī)格探頭，如下：

中量程（上下探頭，0.02-1.5Ω*cm，厚度約700um）

高量程（上下探頭，1.0-100Ω*cm，厚度約700um）

2)     PN探頭：

測(cè)試樣片PN類型

3)     多點(diǎn)測(cè)試平臺(tái)

由于方阻探頭采用上下兩個(gè)探頭，因此采用探頭固定，晶圓平移及旋轉(zhuǎn)的方式，來(lái)進(jìn)行多點(diǎn)的面測(cè)試

4)     厚度探頭（選配，可采用手動(dòng)輸入已知厚度的方式）

量程（200um - 1000um），主要用于將方阻探頭數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為電阻率

5)     OCR晶圓ID識(shí)別（選配）

自動(dòng)識(shí)別Wafer編碼信息

二、主要技術(shù)參數(shù)

三、     軟件功能

3.1系統(tǒng)預(yù)裝正版Windows 10專業(yè)版操作系統(tǒng)

3.2設(shè)備安裝自主產(chǎn)權(quán)測(cè)試應(yīng)用軟件

3.3測(cè)試方塊電阻，電導(dǎo)，電阻率（須輸入厚度數(shù)據(jù)）

3.4軟件具備SPC統(tǒng)計(jì)功能

3.5可輸入并保存設(shè)備編號(hào)，批次號(hào)，樣品號(hào)，操作員號(hào)

3.6可生成PDF版測(cè)試報(bào)告，報(bào)告包含SPC統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)以及掃描圖

3.7可調(diào)用/新建測(cè)試菜單

3.8用戶可設(shè)定測(cè)試上限，下限值

3.9可記錄樣品測(cè)試開(kāi)始時(shí)間，結(jié)束時(shí)間

3.10所有測(cè)試信息至少保留1個(gè)月以上

四、儀器使用環(huán)境

l  環(huán)境溫度：23 ±5°C

l  環(huán)境濕度：（65±20）%RH

l  電源要求：額定電壓（220±22）VAC  頻率（50±1）Hz

五、安裝與驗(yàn)收

1)     物流運(yùn)輸；

2)     儀器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最遲甲方簽收儀器后5個(gè)工作日），上門為甲方安裝通電并協(xié)助甲方驗(yàn)收；

3)     驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：以本協(xié)議第2項(xiàng)技術(shù)參數(shù)中的“驗(yàn)收判定”內(nèi)容實(shí)施現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收；

4)     驗(yàn)收合格后甲方為乙方簽字確認(rèn)。

六、技術(shù)支持與培訓(xùn)

1)     乙方提供7*12h在線技術(shù)支持，2小時(shí)內(nèi)回饋；

2)     乙方負(fù)責(zé)在驗(yàn)收過(guò)程中對(duì)甲方技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)培訓(xùn)；

3)     在質(zhì)保期內(nèi)，乙方為甲方提供全套免費(fèi)技術(shù)服務(wù)，不限于更換備件等；質(zhì)保期后，若非人為損壞儀器的維修服務(wù)，乙方只收取硬件成本費(fèi)用；

4)     乙方免費(fèi)協(xié)助甲方將儀器數(shù)據(jù)對(duì)接至甲方MES系統(tǒng)，若需增加硬件則無(wú)需甲方承擔(dān)費(fèi)用。

七、質(zhì)保期

本儀器，乙方提供自驗(yàn)收之日起1年質(zhì)保；

八、發(fā)貨備件清單